光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2006年
1期
89-93
,共5页
李鸣鸣%龚振邦%程维明%孙麟治
李鳴鳴%龔振邦%程維明%孫麟治
리명명%공진방%정유명%손린치
纳米定位%定位误差%灰色模型%预测%动态补偿
納米定位%定位誤差%灰色模型%預測%動態補償
납미정위%정위오차%회색모형%예측%동태보상
对等步距多工位工作的纳米工作台,采用灰色模型能够同时对定位误差中的系统误差和随机误差进行动态补偿.讨论了提高灰色模型精度的方法,建立了改进背景值的等维新息GM(1,1)灰色预测模型.用5 μm步距定位误差进行了一步预测分析,结果表明该模型具有较高的预测精度;5 μm和3 μm步距的定位误差预测补偿实验表明,工作台的定位误差可以控制在40 nm以内.实验证明了灰色预测模型用于纳米定位系统动态补偿的有效性,且需要的建模数据很少、计算量小,适用于具有时变特征的精密定位系统.
對等步距多工位工作的納米工作檯,採用灰色模型能夠同時對定位誤差中的繫統誤差和隨機誤差進行動態補償.討論瞭提高灰色模型精度的方法,建立瞭改進揹景值的等維新息GM(1,1)灰色預測模型.用5 μm步距定位誤差進行瞭一步預測分析,結果錶明該模型具有較高的預測精度;5 μm和3 μm步距的定位誤差預測補償實驗錶明,工作檯的定位誤差可以控製在40 nm以內.實驗證明瞭灰色預測模型用于納米定位繫統動態補償的有效性,且需要的建模數據很少、計算量小,適用于具有時變特徵的精密定位繫統.
대등보거다공위공작적납미공작태,채용회색모형능구동시대정위오차중적계통오차화수궤오차진행동태보상.토론료제고회색모형정도적방법,건립료개진배경치적등유신식GM(1,1)회색예측모형.용5 μm보거정위오차진행료일보예측분석,결과표명해모형구유교고적예측정도;5 μm화3 μm보거적정위오차예측보상실험표명,공작태적정위오차가이공제재40 nm이내.실험증명료회색예측모형용우납미정위계통동태보상적유효성,차수요적건모수거흔소、계산량소,괄용우구유시변특정적정밀정위계통.
