真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
z1期
40-43
,共4页
冯煜东%王艺%王志民%速小梅%赵慨
馮煜東%王藝%王誌民%速小梅%趙慨
풍욱동%왕예%왕지민%속소매%조개
磁控溅射%质量流量%流导%抽速%分子流%粘滞流
磁控濺射%質量流量%流導%抽速%分子流%粘滯流
자공천사%질량류량%류도%추속%분자류%점체류
大面积柔性基底上连续磁控卷绕溅射镀膜技术高速发展.本文主要描述了该类设备在镀膜均匀性方面的不足和关键因素,并着重通过理论计算分析了抽气结构对溅射室压力均匀性的影响,最后提出了优化的充气与抽气管道设计.通过试验证明所设计的可调整的抽气结构能够很好满足镀膜均匀性要求.
大麵積柔性基底上連續磁控捲繞濺射鍍膜技術高速髮展.本文主要描述瞭該類設備在鍍膜均勻性方麵的不足和關鍵因素,併著重通過理論計算分析瞭抽氣結構對濺射室壓力均勻性的影響,最後提齣瞭優化的充氣與抽氣管道設計.通過試驗證明所設計的可調整的抽氣結構能夠很好滿足鍍膜均勻性要求.
대면적유성기저상련속자공권요천사도막기술고속발전.본문주요묘술료해류설비재도막균균성방면적불족화관건인소,병착중통과이론계산분석료추기결구대천사실압력균균성적영향,최후제출료우화적충기여추기관도설계.통과시험증명소설계적가조정적추기결구능구흔호만족도막균균성요구.
