光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
11期
2565-2572
,共8页
EUV太阳望远镜%反射镜%表面粗糙度%功率谱密度%分辨率
EUV太暘望遠鏡%反射鏡%錶麵粗糙度%功率譜密度%分辨率
EUV태양망원경%반사경%표면조조도%공솔보밀도%분변솔
针对短波段成像系统中的散射问题,提出了一种基于反射镜表面粗糙度来计算极紫外太阳望远镜工作波段分辨率的方法.首先分析了两镜系统中散射光线的传播,讨论了反射镜表面粗糙度相对波长的比值与像面光强分布的关系.分频段测量了反射镜的表面粗糙度,利用k-相关模型拟合出全频段的一维功率谱密度(PSD).数值计算结果表明:在1/D到1/λ(λ为入射光波长)的空间频率范围内,主次镜的有效均方根表面粗糙度分别为0.59 nm和0.77 nm.利用Zemax光学设计软件,建立了包含反射镜表面粗糙度测量数据的极紫外(EUV)望远镜非序列模型,该计算模型能够反映出反射镜表面散射对像面分辨率的影响,结果显示,在30.4 nm波段,包含80％的能量半径从3.9μm增大到4.3 μm,望远镜在工作波段相应的分辨率为0.25〞,满足设计要求.
針對短波段成像繫統中的散射問題,提齣瞭一種基于反射鏡錶麵粗糙度來計算極紫外太暘望遠鏡工作波段分辨率的方法.首先分析瞭兩鏡繫統中散射光線的傳播,討論瞭反射鏡錶麵粗糙度相對波長的比值與像麵光彊分佈的關繫.分頻段測量瞭反射鏡的錶麵粗糙度,利用k-相關模型擬閤齣全頻段的一維功率譜密度(PSD).數值計算結果錶明:在1/D到1/λ(λ為入射光波長)的空間頻率範圍內,主次鏡的有效均方根錶麵粗糙度分彆為0.59 nm和0.77 nm.利用Zemax光學設計軟件,建立瞭包含反射鏡錶麵粗糙度測量數據的極紫外(EUV)望遠鏡非序列模型,該計算模型能夠反映齣反射鏡錶麵散射對像麵分辨率的影響,結果顯示,在30.4 nm波段,包含80％的能量半徑從3.9μm增大到4.3 μm,望遠鏡在工作波段相應的分辨率為0.25〞,滿足設計要求.
침대단파단성상계통중적산사문제,제출료일충기우반사경표면조조도래계산겁자외태양망원경공작파단분변솔적방법.수선분석료량경계통중산사광선적전파,토론료반사경표면조조도상대파장적비치여상면광강분포적관계.분빈단측량료반사경적표면조조도,이용k-상관모형의합출전빈단적일유공솔보밀도(PSD).수치계산결과표명:재1/D도1/λ(λ위입사광파장)적공간빈솔범위내,주차경적유효균방근표면조조도분별위0.59 nm화0.77 nm.이용Zemax광학설계연건,건립료포함반사경표면조조도측량수거적겁자외(EUV)망원경비서렬모형,해계산모형능구반영출반사경표면산사대상면분변솔적영향,결과현시,재30.4 nm파단,포함80％적능량반경종3.9μm증대도4.3 μm,망원경재공작파단상응적분변솔위0.25〞,만족설계요구.
