功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2011年
z4期
688-690
,共3页
刘德雄%唐金龙%温才%胡思福
劉德雄%唐金龍%溫纔%鬍思福
류덕웅%당금룡%온재%호사복
ZAO薄膜%电子束蒸发%X射线衍射%透射率%电阻率
ZAO薄膜%電子束蒸髮%X射線衍射%透射率%電阻率
ZAO박막%전자속증발%X사선연사%투사솔%전조솔
采用ZnO、Al2O3 (2.5％(质量分数))靶材,真空腔温度保持在40℃左右,运用电子束蒸发法制得系列的ZnO∶Al(ZAO)薄膜.通过X射线衍射(XRD)、光学显微镜、紫外-可见近红外光谱仪、四探针测试仪等仪器对薄膜进行了测定.薄膜呈c轴择优取向的六角纤锌矿结构；具有致密平滑的表面形貌；最佳工艺下样品在702nm波长处透过率达90％；最低电阻率为1.7×10-3Ω·cm.
採用ZnO、Al2O3 (2.5％(質量分數))靶材,真空腔溫度保持在40℃左右,運用電子束蒸髮法製得繫列的ZnO∶Al(ZAO)薄膜.通過X射線衍射(XRD)、光學顯微鏡、紫外-可見近紅外光譜儀、四探針測試儀等儀器對薄膜進行瞭測定.薄膜呈c軸擇優取嚮的六角纖鋅礦結構；具有緻密平滑的錶麵形貌；最佳工藝下樣品在702nm波長處透過率達90％；最低電阻率為1.7×10-3Ω·cm.
채용ZnO、Al2O3 (2.5％(질량분수))파재,진공강온도보지재40℃좌우,운용전자속증발법제득계렬적ZnO∶Al(ZAO)박막.통과X사선연사(XRD)、광학현미경、자외-가견근홍외광보의、사탐침측시의등의기대박막진행료측정.박막정c축택우취향적륙각섬자광결구；구유치밀평활적표면형모；최가공예하양품재702nm파장처투과솔체90％；최저전조솔위1.7×10-3Ω·cm.
