真空
真空
진공
VACUUM
2012年
3期
22-25
,共4页
廖旭东%杨丹%冯晓%陈涛%白国云
廖旭東%楊丹%馮曉%陳濤%白國雲
료욱동%양단%풍효%진도%백국운
氦质谱检漏%快速准确检测%漏率预测
氦質譜檢漏%快速準確檢測%漏率預測
양질보검루%쾌속준학검측%루솔예측
大型真空系统检漏往往耗时长、效率低.本文分析了氦气通过漏孔进入氦质谱检漏仪形成检漏信号的规律,并据此建立检漏信号数学模型,确定漏孔的最终稳态泄漏信号.基于上述分析,提出漏孔漏率的一种快速预测方法.该方法用于大型真空系统检漏能准确预测被检部位的漏率,能显著缩短检漏时间,提高检漏效率.
大型真空繫統檢漏往往耗時長、效率低.本文分析瞭氦氣通過漏孔進入氦質譜檢漏儀形成檢漏信號的規律,併據此建立檢漏信號數學模型,確定漏孔的最終穩態洩漏信號.基于上述分析,提齣漏孔漏率的一種快速預測方法.該方法用于大型真空繫統檢漏能準確預測被檢部位的漏率,能顯著縮短檢漏時間,提高檢漏效率.
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