半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2003年
10期
1103-1108
,共6页
宋军%梅维泉%文泓桥%何赛灵
宋軍%梅維泉%文泓橋%何賽靈
송군%매유천%문홍교%하새령
刻蚀衍射光栅(EDG)%波分复用%波像差%球差%彗差%串扰%耦合效率
刻蝕衍射光柵(EDG)%波分複用%波像差%毬差%彗差%串擾%耦閤效率
각식연사광책(EDG)%파분복용%파상차%구차%혜차%천우%우합효솔
对作为波分复用关键器件之一的刻蚀衍射光栅(EDG)的像差特性提出了一种简单方便的计算方法,分析了像差对刻蚀衍射光栅频谱响应的影响.理论推导了基于基尔霍夫衍射、角谱衍射以及快速傅里叶变换等方法.最终证明彗差会造成谱形失称,明显降低耦合效率;而球差则会明显地增加串扰.并指出当像差存在时通过输出端加taper结构,并不能显著改善器件的串扰特性.
對作為波分複用關鍵器件之一的刻蝕衍射光柵(EDG)的像差特性提齣瞭一種簡單方便的計算方法,分析瞭像差對刻蝕衍射光柵頻譜響應的影響.理論推導瞭基于基爾霍伕衍射、角譜衍射以及快速傅裏葉變換等方法.最終證明彗差會造成譜形失稱,明顯降低耦閤效率;而毬差則會明顯地增加串擾.併指齣噹像差存在時通過輸齣耑加taper結構,併不能顯著改善器件的串擾特性.
대작위파분복용관건기건지일적각식연사광책(EDG)적상차특성제출료일충간단방편적계산방법,분석료상차대각식연사광책빈보향응적영향.이론추도료기우기이곽부연사、각보연사이급쾌속부리협변환등방법.최종증명혜차회조성보형실칭,명현강저우합효솔;이구차칙회명현지증가천우.병지출당상차존재시통과수출단가taper결구,병불능현저개선기건적천우특성.
