光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2005年
1期
82-85
,共4页
光学薄膜%超薄薄膜%薄膜技术%膜厚监控
光學薄膜%超薄薄膜%薄膜技術%膜厚鑑控
광학박막%초박박막%박막기술%막후감공
银经常被应用于制备诱导增透滤光片,在这种宽带滤光片中,银膜的厚度一般在几个纳米,这样使得精确监控银的厚度很困难.提出一种简单易行的改进方法,通过在蒸发源上方加一个调速挡板,结合晶振膜厚仪,可以获得±0.4nm以内控制精度的超薄银膜.
銀經常被應用于製備誘導增透濾光片,在這種寬帶濾光片中,銀膜的厚度一般在幾箇納米,這樣使得精確鑑控銀的厚度很睏難.提齣一種簡單易行的改進方法,通過在蒸髮源上方加一箇調速擋闆,結閤晶振膜厚儀,可以穫得±0.4nm以內控製精度的超薄銀膜.
은경상피응용우제비유도증투려광편,재저충관대려광편중,은막적후도일반재궤개납미,저양사득정학감공은적후도흔곤난.제출일충간단역행적개진방법,통과재증발원상방가일개조속당판,결합정진막후의,가이획득±0.4nm이내공제정도적초박은막.
