功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2005年
3期
399-401
,共3页
陈金菊%顾德恩%冯哲圣%杨邦朝
陳金菊%顧德恩%馮哲聖%楊邦朝
진금국%고덕은%풍철골%양방조
铝电极箔%水解沉积%阳极氧化%Al-Ti复合氧化膜%TiO2
鋁電極箔%水解沉積%暘極氧化%Al-Ti複閤氧化膜%TiO2
려전겁박%수해침적%양겁양화%Al-Ti복합양화막%TiO2
通过含钛无机盐的水解沉积及高温热处理,铝电极箔表面形成高介电常数氧化物--TiO2膜层,然后在己二酸铵溶液中恒电流阳极氧化,形成Al-Ti复合氧化膜.AFM观测了含钛无机盐水解沉积过程中,铝电极箔表面形貌的变化.在铬酸和磷酸的混合溶液中测试了氧化膜的耐电压随溶解时间的变化.通过SIMS检测了复合氧化膜中Al3+、Ti4+的强度随溅射时间的变化.膜溶解试验及SIMS检测结果表明Al-Ti复合氧化膜由3层组成,外层和中间层为Al、Ti、O不同配比的混合物,内层则为纯的A12O3.铝电极箔比容随氧化膜耐电压的变化关系曲线表明,60V耐电压下,Al-Ti复合氧化膜的比容提高率为51%.
通過含鈦無機鹽的水解沉積及高溫熱處理,鋁電極箔錶麵形成高介電常數氧化物--TiO2膜層,然後在己二痠銨溶液中恆電流暘極氧化,形成Al-Ti複閤氧化膜.AFM觀測瞭含鈦無機鹽水解沉積過程中,鋁電極箔錶麵形貌的變化.在鉻痠和燐痠的混閤溶液中測試瞭氧化膜的耐電壓隨溶解時間的變化.通過SIMS檢測瞭複閤氧化膜中Al3+、Ti4+的彊度隨濺射時間的變化.膜溶解試驗及SIMS檢測結果錶明Al-Ti複閤氧化膜由3層組成,外層和中間層為Al、Ti、O不同配比的混閤物,內層則為純的A12O3.鋁電極箔比容隨氧化膜耐電壓的變化關繫麯線錶明,60V耐電壓下,Al-Ti複閤氧化膜的比容提高率為51%.
통과함태무궤염적수해침적급고온열처리,려전겁박표면형성고개전상수양화물--TiO2막층,연후재기이산안용액중항전류양겁양화,형성Al-Ti복합양화막.AFM관측료함태무궤염수해침적과정중,려전겁박표면형모적변화.재락산화린산적혼합용액중측시료양화막적내전압수용해시간적변화.통과SIMS검측료복합양화막중Al3+、Ti4+적강도수천사시간적변화.막용해시험급SIMS검측결과표명Al-Ti복합양화막유3층조성,외층화중간층위Al、Ti、O불동배비적혼합물,내층칙위순적A12O3.려전겁박비용수양화막내전압적변화관계곡선표명,60V내전압하,Al-Ti복합양화막적비용제고솔위51%.
