材料科学与工艺
材料科學與工藝
재료과학여공예
MATERIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
1期
40-43
,共4页
李金龙%孙明仁%马欣新%唐光泽%金银玉
李金龍%孫明仁%馬訢新%唐光澤%金銀玉
리금룡%손명인%마흔신%당광택%금은옥
等离子体基离子注入%TiN膜%XPS%成分深度分布%元素化学价态%纳米硬度
等離子體基離子註入%TiN膜%XPS%成分深度分佈%元素化學價態%納米硬度
등리자체기리자주입%TiN막%XPS%성분심도분포%원소화학개태%납미경도
采用Ti、N等离子体基离子注入和先在基体表面沉积纯钛层然后离子注氮混合两种方法在铝合金基体上制备了TiN膜.利用XPS分析了两种方法制备TiN薄膜的成分深度分布和元素化学价态,并用力学性能显微探针测试对比了TiN膜的纳米硬度.研究表明:两种方法制备的薄膜均由TiN组成,Ti、N等离子体基离子注入薄膜中Ti/N≈1.1,而离子注入混合薄膜中Ti/N≈1.3,Ti、N等离子体基离子注入薄膜表面区域为TiN和TiO2的混合组织,TiN含量多于TiO2,离子注入混合薄膜表面主要是TiO2;Ti、N等离子体基离子注入所制备的薄膜的纳米硬度峰值为12.26 GPa,高于离子注入混合的7.98 GPa.
採用Ti、N等離子體基離子註入和先在基體錶麵沉積純鈦層然後離子註氮混閤兩種方法在鋁閤金基體上製備瞭TiN膜.利用XPS分析瞭兩種方法製備TiN薄膜的成分深度分佈和元素化學價態,併用力學性能顯微探針測試對比瞭TiN膜的納米硬度.研究錶明:兩種方法製備的薄膜均由TiN組成,Ti、N等離子體基離子註入薄膜中Ti/N≈1.1,而離子註入混閤薄膜中Ti/N≈1.3,Ti、N等離子體基離子註入薄膜錶麵區域為TiN和TiO2的混閤組織,TiN含量多于TiO2,離子註入混閤薄膜錶麵主要是TiO2;Ti、N等離子體基離子註入所製備的薄膜的納米硬度峰值為12.26 GPa,高于離子註入混閤的7.98 GPa.
채용Ti、N등리자체기리자주입화선재기체표면침적순태층연후리자주담혼합량충방법재려합금기체상제비료TiN막.이용XPS분석료량충방법제비TiN박막적성분심도분포화원소화학개태,병용역학성능현미탐침측시대비료TiN막적납미경도.연구표명:량충방법제비적박막균유TiN조성,Ti、N등리자체기리자주입박막중Ti/N≈1.1,이리자주입혼합박막중Ti/N≈1.3,Ti、N등리자체기리자주입박막표면구역위TiN화TiO2적혼합조직,TiN함량다우TiO2,리자주입혼합박막표면주요시TiO2;Ti、N등리자체기리자주입소제비적박막적납미경도봉치위12.26 GPa,고우리자주입혼합적7.98 GPa.
