机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2007年
2期
223-227
,共5页
鲍海飞%李昕欣%张波%郭久福%韩建强
鮑海飛%李昕訢%張波%郭久福%韓建彊
포해비%리흔흔%장파%곽구복%한건강
原子力显微镜%微纳结构%硬件%软件%悬臂梁%力学测试
原子力顯微鏡%微納結構%硬件%軟件%懸臂樑%力學測試
원자력현미경%미납결구%경건%연건%현비량%역학측시
原子力显微镜是微纳米尺度科学研究中的一个精密仪器,从原理和应用,设备的软件、硬件的扩展都具有很大的发展空间.随微纳机电系统的应用,非常迫切需要开发基于原子力显微镜的力学相关测试系统.在此情况下,着重开发部分相关力学测试软件和系统硬件的扩展.基于原子力显微镜中的一个最基本的力-位移曲线功能,开发力学测试软件,实施单点、多点的力曲线测量,疲劳度测量和单线扫描四个测试功能,系统在硬件上增添微动平台,具有较大的横向位移,保证微纳结构尺寸的测试.相关测试表明,该软件具有较好的一致性和使用性,能方便地进行力学量的提取.
原子力顯微鏡是微納米呎度科學研究中的一箇精密儀器,從原理和應用,設備的軟件、硬件的擴展都具有很大的髮展空間.隨微納機電繫統的應用,非常迫切需要開髮基于原子力顯微鏡的力學相關測試繫統.在此情況下,著重開髮部分相關力學測試軟件和繫統硬件的擴展.基于原子力顯微鏡中的一箇最基本的力-位移麯線功能,開髮力學測試軟件,實施單點、多點的力麯線測量,疲勞度測量和單線掃描四箇測試功能,繫統在硬件上增添微動平檯,具有較大的橫嚮位移,保證微納結構呎吋的測試.相關測試錶明,該軟件具有較好的一緻性和使用性,能方便地進行力學量的提取.
원자력현미경시미납미척도과학연구중적일개정밀의기,종원리화응용,설비적연건、경건적확전도구유흔대적발전공간.수미납궤전계통적응용,비상박절수요개발기우원자력현미경적역학상관측시계통.재차정황하,착중개발부분상관역학측시연건화계통경건적확전.기우원자력현미경중적일개최기본적력-위이곡선공능,개발역학측시연건,실시단점、다점적력곡선측량,피로도측량화단선소묘사개측시공능,계통재경건상증첨미동평태,구유교대적횡향위이,보증미납결구척촌적측시.상관측시표명,해연건구유교호적일치성화사용성,능방편지진행역학량적제취.
