光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2007年
8期
28-31
,共4页
张晓玉%高洪涛%周崇喜%刘强%邢廷文%姚汉民
張曉玉%高洪濤%週崇喜%劉彊%邢廷文%姚漢民
장효옥%고홍도%주숭희%류강%형정문%요한민
SU-8光刻胶%三维光子晶体%柱层析%尺寸排阻色谱法
SU-8光刻膠%三維光子晶體%柱層析%呎吋排阻色譜法
SU-8광각효%삼유광자정체%주층석%척촌배조색보법
针对SU-8光刻胶应用于三维光子晶体的制作研究,本文提出并实现了对SU-8光刻胶的重要成分SU-8环氧树脂采用柱层析和高压液相色谱-尺寸排阻色谱法进行分离,分离结果表明SU-8环氧树脂分子量分布范围很大,从大约100～100000,包括SU-1、SU-2、SU-4、SU-6、SU-8多种组分及其混合物.采用分离后的SU-8和SU-6纯组分配制了性能优化的SU-8光刻胶,并总结了其最佳光刻工艺,结合干涉光刻技术制作了晶格常数为922nm的三维面心立方光子晶体结构.
針對SU-8光刻膠應用于三維光子晶體的製作研究,本文提齣併實現瞭對SU-8光刻膠的重要成分SU-8環氧樹脂採用柱層析和高壓液相色譜-呎吋排阻色譜法進行分離,分離結果錶明SU-8環氧樹脂分子量分佈範圍很大,從大約100～100000,包括SU-1、SU-2、SU-4、SU-6、SU-8多種組分及其混閤物.採用分離後的SU-8和SU-6純組分配製瞭性能優化的SU-8光刻膠,併總結瞭其最佳光刻工藝,結閤榦涉光刻技術製作瞭晶格常數為922nm的三維麵心立方光子晶體結構.
침대SU-8광각효응용우삼유광자정체적제작연구,본문제출병실현료대SU-8광각효적중요성분SU-8배양수지채용주층석화고압액상색보-척촌배조색보법진행분리,분리결과표명SU-8배양수지분자량분포범위흔대,종대약100～100000,포괄SU-1、SU-2、SU-4、SU-6、SU-8다충조분급기혼합물.채용분리후적SU-8화SU-6순조분배제료성능우화적SU-8광각효,병총결료기최가광각공예,결합간섭광각기술제작료정격상수위922nm적삼유면심립방광자정체결구.
