廊坊师范学院学报（自然科学版）
廊坊師範學院學報（自然科學版）
랑방사범학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF LANGFANG TEACHERS COLLEGE
2010年
4期
50-52
,共3页
金铱%谢建生%李金华%袁宁一
金銥%謝建生%李金華%袁寧一
금의%사건생%리금화%원저일
氧化锌薄膜%退火%离子束增强沉积
氧化鋅薄膜%退火%離子束增彊沉積
양화자박막%퇴화%리자속증강침적
用In2O3粉体与ZnO粉体均匀混合,压制成溅射靶.在Si和SiO2/Si衬底上,用离子束增强沉积(IBED)方法对沉积膜作Ar+/N+注入,制备In-N共掺杂氧化锌薄膜.在氮气氛中作适当的退火,可以方便地获得取向单一、结构致密、性能良好的共掺杂ZnO薄膜.初步研究了INZO共掺杂薄膜的电阻率随退火条件的变化.
用In2O3粉體與ZnO粉體均勻混閤,壓製成濺射靶.在Si和SiO2/Si襯底上,用離子束增彊沉積(IBED)方法對沉積膜作Ar+/N+註入,製備In-N共摻雜氧化鋅薄膜.在氮氣氛中作適噹的退火,可以方便地穫得取嚮單一、結構緻密、性能良好的共摻雜ZnO薄膜.初步研究瞭INZO共摻雜薄膜的電阻率隨退火條件的變化.
용In2O3분체여ZnO분체균균혼합,압제성천사파.재Si화SiO2/Si츤저상,용리자속증강침적(IBED)방법대침적막작Ar+/N+주입,제비In-N공참잡양화자박막.재담기분중작괄당적퇴화,가이방편지획득취향단일、결구치밀、성능량호적공참잡ZnO박막.초보연구료INZO공참잡박막적전조솔수퇴화조건적변화.
