光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
12期
69-74
,共6页
张建锋%曹学东%景洪伟%吴时彬%阴旭
張建鋒%曹學東%景洪偉%吳時彬%陰旭
장건봉%조학동%경홍위%오시빈%음욱
光学检测%旋转%干涉仪系统误差%Zemike多项式%绝对标定
光學檢測%鏇轉%榦涉儀繫統誤差%Zemike多項式%絕對標定
광학검측%선전%간섭의계통오차%Zemike다항식%절대표정
针对干涉仪高精度检测的需求,本文提出了旋转法标定干涉仪系统误差,实现绝对检测,从而提高检测精度.该方法根据Zemike多项式的性质,可以通过N次平分旋转和一次旋转法两种方法实现.本文对这两种方法分别做了详细的理论推导,并且给出具体实验结果与误差分析.实验结果表明,两种方法的测量结果基本一致,差值的PV值为0.006λ,RMS值为0.001λ.误差分析结果表明,一次旋转法的旋转误差小于N次平分法,因此一次旋转法是一种精度更高的方法.
針對榦涉儀高精度檢測的需求,本文提齣瞭鏇轉法標定榦涉儀繫統誤差,實現絕對檢測,從而提高檢測精度.該方法根據Zemike多項式的性質,可以通過N次平分鏇轉和一次鏇轉法兩種方法實現.本文對這兩種方法分彆做瞭詳細的理論推導,併且給齣具體實驗結果與誤差分析.實驗結果錶明,兩種方法的測量結果基本一緻,差值的PV值為0.006λ,RMS值為0.001λ.誤差分析結果錶明,一次鏇轉法的鏇轉誤差小于N次平分法,因此一次鏇轉法是一種精度更高的方法.
침대간섭의고정도검측적수구,본문제출료선전법표정간섭의계통오차,실현절대검측,종이제고검측정도.해방법근거Zemike다항식적성질,가이통과N차평분선전화일차선전법량충방법실현.본문대저량충방법분별주료상세적이론추도,병차급출구체실험결과여오차분석.실험결과표명,량충방법적측량결과기본일치,차치적PV치위0.006λ,RMS치위0.001λ.오차분석결과표명,일차선전법적선전오차소우N차평분법,인차일차선전법시일충정도경고적방법.
