传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
1期
127-129,132
,共4页
张峰烈%傅星%林谦%胡小唐
張峰烈%傅星%林謙%鬍小唐
장봉렬%부성%림겸%호소당
脉冲激光%光斑面积%实时控制%图像二值化%激光微抛光
脈遲激光%光斑麵積%實時控製%圖像二值化%激光微拋光
맥충격광%광반면적%실시공제%도상이치화%격광미포광
讨论了大功率脉冲激光光斑面积的实时检测与控制方法,研制了采用波长532 nm的连续激光器和CCD-FPGA技术来脉冲激光光斑面积实时控制系统.实验分析了本系统的技术特性:激光光斑、CCD视频信号以及二值化信号；CCD视频信号二值化阈值为405 mV,而FPGA的控制误差范围为十进制数24;计算及标定激光光斑面积,光斑面积测量的相对误差最大为0.5％,而绝对误差在8 μm2范围内.本系统可以直接应用于激光微抛光的能量密度实时控制.
討論瞭大功率脈遲激光光斑麵積的實時檢測與控製方法,研製瞭採用波長532 nm的連續激光器和CCD-FPGA技術來脈遲激光光斑麵積實時控製繫統.實驗分析瞭本繫統的技術特性:激光光斑、CCD視頻信號以及二值化信號；CCD視頻信號二值化閾值為405 mV,而FPGA的控製誤差範圍為十進製數24;計算及標定激光光斑麵積,光斑麵積測量的相對誤差最大為0.5％,而絕對誤差在8 μm2範圍內.本繫統可以直接應用于激光微拋光的能量密度實時控製.
토론료대공솔맥충격광광반면적적실시검측여공제방법,연제료채용파장532 nm적련속격광기화CCD-FPGA기술래맥충격광광반면적실시공제계통.실험분석료본계통적기술특성:격광광반、CCD시빈신호이급이치화신호；CCD시빈신호이치화역치위405 mV,이FPGA적공제오차범위위십진제수24;계산급표정격광광반면적,광반면적측량적상대오차최대위0.5％,이절대오차재8 μm2범위내.본계통가이직접응용우격광미포광적능량밀도실시공제.
