河北省科学院学报
河北省科學院學報
하북성과학원학보
JOURNAL OF THE HEBEI ACADEMY OF SCIENCES
2004年
2期
10-12
,共3页
胡红彦%何奇宇%王少岩%王志娜%姜龙
鬍紅彥%何奇宇%王少巖%王誌娜%薑龍
호홍언%하기우%왕소암%왕지나%강룡
化学气相沉积%等离子体炬%金刚石膜
化學氣相沉積%等離子體炬%金剛石膜
화학기상침적%등리자체거%금강석막
在已有的30kW金刚石膜设备基础上,研制出了直流等离子体CVD金刚石薄膜涂层设备.这套设备用直径为200mm的喷嘴能够沉积出直径为190mm均匀度误差小于15%的金刚石膜.
在已有的30kW金剛石膜設備基礎上,研製齣瞭直流等離子體CVD金剛石薄膜塗層設備.這套設備用直徑為200mm的噴嘴能夠沉積齣直徑為190mm均勻度誤差小于15%的金剛石膜.
재이유적30kW금강석막설비기출상,연제출료직류등리자체CVD금강석박막도층설비.저투설비용직경위200mm적분취능구침적출직경위190mm균균도오차소우15%적금강석막.
