硅基1.55 μm可调谐共振腔窄带光电探测器的研究
규기1.55 μm가조해공진강착대광전탐측기적연구
The Fabrication of Low Cost Si-based Continuously Tunable 1.55μm RCE Photodetector
  • 万方数据
    光子学报 광자학보
    ACTA PHOTONICA SINICA
    2005年 12期 1783-1787 ,共5页

    毛容伟%成步文%李传波%左玉华%滕学公%罗丽萍%余金中%王启明

    모용위%성보문%리전파%좌옥화%등학공%라려평%여금중%왕계명

    共振腔增强型探测器%介质键合%InGaAs%可调谐%高频响应 共振腔增彊型探測器%介質鍵閤%InGaAs%可調諧%高頻響應
    공진강증강형탐측기%개질건합%InGaAs%가조해%고빈향응
    制作了一种低成本硅基1.55 μm可调谐共振腔增强型探测器.首次获得硅基长波长可调谐共振腔探测器的窄带响应,共振峰量子效率达44%,峰值半高宽为 12.5 nm,调谐范围 14.5 nm,并且获得1.8 GHz的高频响应.本制作工艺不复杂,成本低,有望用于工业生产.
    제작료일충저성본규기1.55 μm가조해공진강증강형탐측기.수차획득규기장파장가조해공진강탐측기적착대향응,공진봉양자효솔체44%,봉치반고관위 12.5 nm,조해범위 14.5 nm,병차획득1.8 GHz적고빈향응.본제작공예불복잡,성본저,유망용우공업생산.
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