润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2006年
11期
24-27
,共4页
周晖%温庆平%桑瑞鹏%万志华%刘洪柱%薛德胜
週暉%溫慶平%桑瑞鵬%萬誌華%劉洪柱%薛德勝
주휘%온경평%상서붕%만지화%류홍주%설덕성
非平衡磁控溅射%MoS2薄膜%掺杂Ti%结构和性能
非平衡磁控濺射%MoS2薄膜%摻雜Ti%結構和性能
비평형자공천사%MoS2박막%참잡Ti%결구화성능
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备纯MoS2和不同Ti掺杂量的MoS2-Ti复合薄膜.用SEM和XRD对薄膜的形貌和结构进行分析,用纳米划痕仪测试薄膜与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机评价薄膜在大气和真空环境中的摩擦学性能.研究结果表明:在溅射沉积MoS2薄膜过程中掺杂金属Ti,有效地阻断了MoS2疏松、多孔柱状晶的优势生长,从而生成组织结构致密、无定形态的薄膜,提高了其与基底间的附着力.掺Ti复合薄膜在大气和真空环境中的摩擦学性能都得到显著改善,真空环境中10%Ti含量的薄膜耐磨寿命最长,是纯MoS2膜的37倍,大气环境中20%Ti含量的薄膜耐磨寿命最长,是纯MoS2膜的67倍.
採用非平衡磁控濺射沉積技術製備純MoS2和不同Ti摻雜量的MoS2-Ti複閤薄膜.用SEM和XRD對薄膜的形貌和結構進行分析,用納米劃痕儀測試薄膜與基底間的附著力,用毬-盤摩抆試驗機評價薄膜在大氣和真空環境中的摩抆學性能.研究結果錶明:在濺射沉積MoS2薄膜過程中摻雜金屬Ti,有效地阻斷瞭MoS2疏鬆、多孔柱狀晶的優勢生長,從而生成組織結構緻密、無定形態的薄膜,提高瞭其與基底間的附著力.摻Ti複閤薄膜在大氣和真空環境中的摩抆學性能都得到顯著改善,真空環境中10%Ti含量的薄膜耐磨壽命最長,是純MoS2膜的37倍,大氣環境中20%Ti含量的薄膜耐磨壽命最長,是純MoS2膜的67倍.
채용비평형자공천사침적기술제비순MoS2화불동Ti참잡량적MoS2-Ti복합박막.용SEM화XRD대박막적형모화결구진행분석,용납미화흔의측시박막여기저간적부착력,용구-반마찰시험궤평개박막재대기화진공배경중적마찰학성능.연구결과표명:재천사침적MoS2박막과정중참잡금속Ti,유효지조단료MoS2소송、다공주상정적우세생장,종이생성조직결구치밀、무정형태적박막,제고료기여기저간적부착력.참Ti복합박막재대기화진공배경중적마찰학성능도득도현저개선,진공배경중10%Ti함량적박막내마수명최장,시순MoS2막적37배,대기배경중20%Ti함량적박막내마수명최장,시순MoS2막적67배.
