仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2007年
3期
13-15
,共3页
蒋洪奎%胡礼广%朱春耕%沈亚强
蔣洪奎%鬍禮廣%硃春耕%瀋亞彊
장홍규%호례엄%주춘경%침아강
原子力显微镜%阳极氧化%纳米刻蚀%电压
原子力顯微鏡%暘極氧化%納米刻蝕%電壓
원자력현미경%양겁양화%납미각식%전압
利用原子力显微镜AFM进行阳极氧化纳米刻蚀加工的实质是电场作用下发生的电化学反应,外加电压是影响氧化加工的最重要的因素.在氧化加工过程中,外加电压存在着阈值.分析了电压的大小、类型对氧化物的结构和生长速率产生的具体影响,偏压的提高可以获得较厚的氧化物,氧化速率随氧化层厚度下降,而调节电压脉冲峰值、周期、频率可以增强氧化物的生长速率,提高氧化物的纵横比.说明通过控制电压可以控制实现对氧化过程的控制,而交流脉冲电压对阳极氧化加工最为有利.
利用原子力顯微鏡AFM進行暘極氧化納米刻蝕加工的實質是電場作用下髮生的電化學反應,外加電壓是影響氧化加工的最重要的因素.在氧化加工過程中,外加電壓存在著閾值.分析瞭電壓的大小、類型對氧化物的結構和生長速率產生的具體影響,偏壓的提高可以穫得較厚的氧化物,氧化速率隨氧化層厚度下降,而調節電壓脈遲峰值、週期、頻率可以增彊氧化物的生長速率,提高氧化物的縱橫比.說明通過控製電壓可以控製實現對氧化過程的控製,而交流脈遲電壓對暘極氧化加工最為有利.
이용원자력현미경AFM진행양겁양화납미각식가공적실질시전장작용하발생적전화학반응,외가전압시영향양화가공적최중요적인소.재양화가공과정중,외가전압존재착역치.분석료전압적대소、류형대양화물적결구화생장속솔산생적구체영향,편압적제고가이획득교후적양화물,양화속솔수양화층후도하강,이조절전압맥충봉치、주기、빈솔가이증강양화물적생장속솔,제고양화물적종횡비.설명통과공제전압가이공제실현대양화과정적공제,이교류맥충전압대양겁양화가공최위유리.
