量子电子学报
量子電子學報
양자전자학보
CHINESE JOURNAL OF QUANTUM ELECTRONICS
2010年
3期
281-287
,共7页
激光技术%准分子激光%热释电%能量反馈%实时检测
激光技術%準分子激光%熱釋電%能量反饋%實時檢測
격광기술%준분자격광%열석전%능량반궤%실시검측
介绍了一种基于热释电探头的准分子激光能量检、测系统,实现了对0～200 Hz重复率运行的准分子激光单个脉冲及多脉冲系列的能量实时检测.它由探头、放大、峰值保持、MCU、显示和通讯几部分组成,解决了闸流管放电强电磁干扰等难点,并在193 nmArF和248 nmKrF准分子激光器上进行了测试:响应时间4ms、分辨率10μJ、灵敏度O.5 V/mJ、精度±3%.本系统既可作为能量计使用,也可以作为检测环节用于脉冲能量闭环稳定系统中,如采用响应速度更高的光电管,有望实现高重复率准分子激光光源的实时脉冲能量检测和稳定等技术.
介紹瞭一種基于熱釋電探頭的準分子激光能量檢、測繫統,實現瞭對0～200 Hz重複率運行的準分子激光單箇脈遲及多脈遲繫列的能量實時檢測.它由探頭、放大、峰值保持、MCU、顯示和通訊幾部分組成,解決瞭閘流管放電彊電磁榦擾等難點,併在193 nmArF和248 nmKrF準分子激光器上進行瞭測試:響應時間4ms、分辨率10μJ、靈敏度O.5 V/mJ、精度±3%.本繫統既可作為能量計使用,也可以作為檢測環節用于脈遲能量閉環穩定繫統中,如採用響應速度更高的光電管,有望實現高重複率準分子激光光源的實時脈遲能量檢測和穩定等技術.
개소료일충기우열석전탐두적준분자격광능량검、측계통,실현료대0～200 Hz중복솔운행적준분자격광단개맥충급다맥충계렬적능량실시검측.타유탐두、방대、봉치보지、MCU、현시화통신궤부분조성,해결료갑류관방전강전자간우등난점,병재193 nmArF화248 nmKrF준분자격광기상진행료측시:향응시간4ms、분변솔10μJ、령민도O.5 V/mJ、정도±3%.본계통기가작위능량계사용,야가이작위검측배절용우맥충능량폐배은정계통중,여채용향응속도경고적광전관,유망실현고중복솔준분자격광광원적실시맥충능량검측화은정등기술.
