材料开发与应用
材料開髮與應用
재료개발여응용
DEVELOPMENT AND APPLICATION OF MATERIALS
2012年
2期
40-43,58
,共5页
AZO靶材%AZO薄膜%冷等静压%惰性气体
AZO靶材%AZO薄膜%冷等靜壓%惰性氣體
AZO파재%AZO박막%랭등정압%타성기체
采用机械混粉、造粒、模压和冷等静压(CIP)成型相结合的功能陶瓷制备工艺制备了AZO靶材,研究了空气、真空及惰性气氛对AZO靶材性能的影响.结果发现,氩气保护烧结法制备的AZO靶材不仅密度高,电阻率达10-4Ω·cm量级,而且该方法还可明显抑制氧化锌的挥发,降低烧结温度,在1320℃的温度下便可制得相对密度为99％、晶粒度在4μm左右的靶材.
採用機械混粉、造粒、模壓和冷等靜壓(CIP)成型相結閤的功能陶瓷製備工藝製備瞭AZO靶材,研究瞭空氣、真空及惰性氣氛對AZO靶材性能的影響.結果髮現,氬氣保護燒結法製備的AZO靶材不僅密度高,電阻率達10-4Ω·cm量級,而且該方法還可明顯抑製氧化鋅的揮髮,降低燒結溫度,在1320℃的溫度下便可製得相對密度為99％、晶粒度在4μm左右的靶材.
채용궤계혼분、조립、모압화랭등정압(CIP)성형상결합적공능도자제비공예제비료AZO파재,연구료공기、진공급타성기분대AZO파재성능적영향.결과발현,아기보호소결법제비적AZO파재불부밀도고,전조솔체10-4Ω·cm량급,이차해방법환가명현억제양화자적휘발,강저소결온도,재1320℃적온도하편가제득상대밀도위99％、정립도재4μm좌우적파재.
