计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2012年
2期
6-9,13
,共5页
汪黎栋%李同保%尚贤平%茅振华
汪黎棟%李同保%尚賢平%茅振華
왕려동%리동보%상현평%모진화
原子光刻技术%纳米光栅样板%基于NMM的AFM测量系统
原子光刻技術%納米光柵樣闆%基于NMM的AFM測量繫統
원자광각기술%납미광책양판%기우NMM적AFM측량계통
利用激光汇聚中性铬原子沉积出一维纳米光栅样板的基础上,基于 NMM的AFM测量系统对样板进行了测试分析和测试方法研究,得到一维纳米光栅结构平均节距为212.6±0 4nm,与52Cr原子共振跃迁(7S3→7P04)的半波长(λ/2)理论值212.8nm基本一致,测试结果非常准确.文章还介绍利用NMM测量机的大范围扫描测试距离,解决了光栅样板的测试区域快速定位的问题,对研究纳米级精度测量有实用价值及参考意义.
利用激光彙聚中性鉻原子沉積齣一維納米光柵樣闆的基礎上,基于 NMM的AFM測量繫統對樣闆進行瞭測試分析和測試方法研究,得到一維納米光柵結構平均節距為212.6±0 4nm,與52Cr原子共振躍遷(7S3→7P04)的半波長(λ/2)理論值212.8nm基本一緻,測試結果非常準確.文章還介紹利用NMM測量機的大範圍掃描測試距離,解決瞭光柵樣闆的測試區域快速定位的問題,對研究納米級精度測量有實用價值及參攷意義.
이용격광회취중성락원자침적출일유납미광책양판적기출상,기우 NMM적AFM측량계통대양판진행료측시분석화측시방법연구,득도일유납미광책결구평균절거위212.6±0 4nm,여52Cr원자공진약천(7S3→7P04)적반파장(λ/2)이론치212.8nm기본일치,측시결과비상준학.문장환개소이용NMM측량궤적대범위소묘측시거리,해결료광책양판적측시구역쾌속정위적문제,대연구납미급정도측량유실용개치급삼고의의.
