硅酸盐通报
硅痠鹽通報
규산염통보
BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2011年
5期
1197-1202,1207
,共7页
CVD%多孔石英陶瓷%氮化硅涂层
CVD%多孔石英陶瓷%氮化硅塗層
CVD%다공석영도자%담화규도층
以甲硅烷(20％甲硅烷+80％氢气)和氨气作为反应前驱体,选择孔隙率为20％左右的多孔石英陶瓷基体,采用CVD法在多孔石英基体表面制备了氮化硅涂层.研究了沉积反应温度、反应压力、反应气体配比以及沉积时间等工艺参数对附着力的影响,确定了CVD法制备氮化硅涂层的最佳工艺参数,通过对所得涂层及复合材料进行抗弯强度和介电性能的表征,探讨了氮化硅涂层对多孔石英基体力学性能和介电性能的影响.
以甲硅烷(20％甲硅烷+80％氫氣)和氨氣作為反應前驅體,選擇孔隙率為20％左右的多孔石英陶瓷基體,採用CVD法在多孔石英基體錶麵製備瞭氮化硅塗層.研究瞭沉積反應溫度、反應壓力、反應氣體配比以及沉積時間等工藝參數對附著力的影響,確定瞭CVD法製備氮化硅塗層的最佳工藝參數,通過對所得塗層及複閤材料進行抗彎彊度和介電性能的錶徵,探討瞭氮化硅塗層對多孔石英基體力學性能和介電性能的影響.
이갑규완(20％갑규완+80％경기)화안기작위반응전구체,선택공극솔위20％좌우적다공석영도자기체,채용CVD법재다공석영기체표면제비료담화규도층.연구료침적반응온도、반응압력、반응기체배비이급침적시간등공예삼수대부착력적영향,학정료CVD법제비담화규도층적최가공예삼수,통과대소득도층급복합재료진행항만강도화개전성능적표정,탐토료담화규도층대다공석영기체역학성능화개전성능적영향.
