材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
10期
48-51
,共4页
NiTi%SMA薄膜%沉积方式%等轴晶%介电性能
NiTi%SMA薄膜%沉積方式%等軸晶%介電性能
NiTi%SMA박막%침적방식%등축정%개전성능
使用模具并采用磁控溅射法在铁电陶瓷PZT基体上沉积具有条形分布结构的NiTi SMA薄膜.显微组织结构观察发现,以条形分布结构方式沉积的NiTi SMA薄膜晶化处理后具有等轴晶结构.比较所制备PZT/NiTi SMA薄膜复合材料与纯PZT的介电常数及介电损耗发现,两者的介电损耗水平接近;复合材料的介电常数比纯PZT的提高约18%.NiTi SMA的沉积使基体中靠近薄膜区域的Zr/Ti物质的量比恰好落在准同型相界区内,致使所制备复合材料的介电性能优于纯PZT.
使用模具併採用磁控濺射法在鐵電陶瓷PZT基體上沉積具有條形分佈結構的NiTi SMA薄膜.顯微組織結構觀察髮現,以條形分佈結構方式沉積的NiTi SMA薄膜晶化處理後具有等軸晶結構.比較所製備PZT/NiTi SMA薄膜複閤材料與純PZT的介電常數及介電損耗髮現,兩者的介電損耗水平接近;複閤材料的介電常數比純PZT的提高約18%.NiTi SMA的沉積使基體中靠近薄膜區域的Zr/Ti物質的量比恰好落在準同型相界區內,緻使所製備複閤材料的介電性能優于純PZT.
사용모구병채용자공천사법재철전도자PZT기체상침적구유조형분포결구적NiTi SMA박막.현미조직결구관찰발현,이조형분포결구방식침적적NiTi SMA박막정화처리후구유등축정결구.비교소제비PZT/NiTi SMA박막복합재료여순PZT적개전상수급개전손모발현,량자적개전손모수평접근;복합재료적개전상수비순PZT적제고약18%.NiTi SMA적침적사기체중고근박막구역적Zr/Ti물질적량비흡호락재준동형상계구내,치사소제비복합재료적개전성능우우순PZT.
