农业工程学报
農業工程學報
농업공정학보
2010年
10期
104-107
,共4页
郭希山%雷声%李扬%朱松明
郭希山%雷聲%李颺%硃鬆明
곽희산%뢰성%리양%주송명
湿敏传感器%静电喷雾%含硅聚电解质%声表面波谐振器
濕敏傳感器%靜電噴霧%含硅聚電解質%聲錶麵波諧振器
습민전감기%정전분무%함규취전해질%성표면파해진기
研究了一种具有高灵敏度、响应快速、重复性好的微型湿敏传感器,可用于植株叶面湿度检测.传感器以单端声表面波谐振器(SAWR)作为基本元件,制备在零温度系数的ST切型石英基底上以消除温度影响,SAWR谐振中心频率为433 MHz.使用静电喷雾的方法在器件表面形成微纳尺度的含硅聚电解质高分子粒子簇薄膜作为感湿材料.结果表明,所研制湿敏传感器具有相对湿度检测范围广(10%～97%)、灵敏度高(500 Hz/%RH)、响应时间短(5s),测量精度高(可达3%)等优点.
研究瞭一種具有高靈敏度、響應快速、重複性好的微型濕敏傳感器,可用于植株葉麵濕度檢測.傳感器以單耑聲錶麵波諧振器(SAWR)作為基本元件,製備在零溫度繫數的ST切型石英基底上以消除溫度影響,SAWR諧振中心頻率為433 MHz.使用靜電噴霧的方法在器件錶麵形成微納呎度的含硅聚電解質高分子粒子簇薄膜作為感濕材料.結果錶明,所研製濕敏傳感器具有相對濕度檢測範圍廣(10%～97%)、靈敏度高(500 Hz/%RH)、響應時間短(5s),測量精度高(可達3%)等優點.
연구료일충구유고령민도、향응쾌속、중복성호적미형습민전감기,가용우식주협면습도검측.전감기이단단성표면파해진기(SAWR)작위기본원건,제비재령온도계수적ST절형석영기저상이소제온도영향,SAWR해진중심빈솔위433 MHz.사용정전분무적방법재기건표면형성미납척도적함규취전해질고분자입자족박막작위감습재료.결과표명,소연제습민전감기구유상대습도검측범위엄(10%～97%)、령민도고(500 Hz/%RH)、향응시간단(5s),측량정도고(가체3%)등우점.
