电机与控制学报
電機與控製學報
전궤여공제학보
ECTRIC MACHINES AND CONTROL
2010年
9期
63-68
,共6页
王丽梅%武志涛%孙宜标%金抚颖
王麗梅%武誌濤%孫宜標%金撫穎
왕려매%무지도%손의표%금무영
XY平台%H∞控制%零相位误差跟踪控制%轮廓误差%法向交叉耦合控制
XY平檯%H∞控製%零相位誤差跟蹤控製%輪廓誤差%法嚮交扠耦閤控製
XY평태%H∞공제%령상위오차근종공제%륜곽오차%법향교차우합공제
在直线电机直接驱动XY平台中,负载扰动、机械延迟以及两轴驱动系统参数不匹配等因素影响轮廓加工精度.采用H∞速度反馈控制、零相位误差跟踪控制(ZPETC)与法向交叉耦合控制相结合的策略对两轴的运动进行协调控制以提高轮廓加工精度,实现跟踪误差与轮廓误差的同时减小.H∞控制在速度环通过反馈作用消除负载扰动因素的影响,使系统具有较好的鲁棒性.ZPETC基于零、极点对消和相位对消提高系统跟踪精度.法向交叉耦合控制作用于两轴之间,将轮廓误差作为直接被控量进行实时补偿控制,有效地提高了轮廓精度并简化了控制器设计.仿真结果表明,所设计的控制系统具有较好的跟踪性、鲁棒性和轮廓精度.
在直線電機直接驅動XY平檯中,負載擾動、機械延遲以及兩軸驅動繫統參數不匹配等因素影響輪廓加工精度.採用H∞速度反饋控製、零相位誤差跟蹤控製(ZPETC)與法嚮交扠耦閤控製相結閤的策略對兩軸的運動進行協調控製以提高輪廓加工精度,實現跟蹤誤差與輪廓誤差的同時減小.H∞控製在速度環通過反饋作用消除負載擾動因素的影響,使繫統具有較好的魯棒性.ZPETC基于零、極點對消和相位對消提高繫統跟蹤精度.法嚮交扠耦閤控製作用于兩軸之間,將輪廓誤差作為直接被控量進行實時補償控製,有效地提高瞭輪廓精度併簡化瞭控製器設計.倣真結果錶明,所設計的控製繫統具有較好的跟蹤性、魯棒性和輪廓精度.
재직선전궤직접구동XY평태중,부재우동、궤계연지이급량축구동계통삼수불필배등인소영향륜곽가공정도.채용H∞속도반궤공제、령상위오차근종공제(ZPETC)여법향교차우합공제상결합적책략대량축적운동진행협조공제이제고륜곽가공정도,실현근종오차여륜곽오차적동시감소.H∞공제재속도배통과반궤작용소제부재우동인소적영향,사계통구유교호적로봉성.ZPETC기우령、겁점대소화상위대소제고계통근종정도.법향교차우합공제작용우량축지간,장륜곽오차작위직접피공량진행실시보상공제,유효지제고료륜곽정도병간화료공제기설계.방진결과표명,소설계적공제계통구유교호적근종성、로봉성화륜곽정도.