中国集成电路
中國集成電路
중국집성전로
CHINA INTEGRATED CIRCUIT
2009年
8期
66-69
,共4页
超薄圆片%崩片%背崩%正面崩片%崩裂%划片刀过载
超薄圓片%崩片%揹崩%正麵崩片%崩裂%劃片刀過載
초박원편%붕편%배붕%정면붕편%붕렬%화편도과재
集成电路小型化正在推动圆片向更薄的方向发展,超薄圆片的划片技术作为集成电路封装小型化的关键基础工艺技术,显得越来越重要,它直接影响产品质量和寿命.本文从超薄片划片时常见的崩裂问题出发,分析了崩裂原因,简单介绍了目前超薄圆片切割普遍采用的STEP切割工艺.另外,针对崩裂原因,还从组成划片刀的3个要素入手分析了减少崩裂的选刀方法.
集成電路小型化正在推動圓片嚮更薄的方嚮髮展,超薄圓片的劃片技術作為集成電路封裝小型化的關鍵基礎工藝技術,顯得越來越重要,它直接影響產品質量和壽命.本文從超薄片劃片時常見的崩裂問題齣髮,分析瞭崩裂原因,簡單介紹瞭目前超薄圓片切割普遍採用的STEP切割工藝.另外,針對崩裂原因,還從組成劃片刀的3箇要素入手分析瞭減少崩裂的選刀方法.
집성전로소형화정재추동원편향경박적방향발전,초박원편적화편기술작위집성전로봉장소형화적관건기출공예기술,현득월래월중요,타직접영향산품질량화수명.본문종초박편화편시상견적붕렬문제출발,분석료붕렬원인,간단개소료목전초박원편절할보편채용적STEP절할공예.령외,침대붕렬원인,환종조성화편도적3개요소입수분석료감소붕렬적선도방법.
