科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2009年
9期
8,14
,共2页
溶胶-凝胶法%ZnO薄膜%晶体结构%光致发光
溶膠-凝膠法%ZnO薄膜%晶體結構%光緻髮光
용효-응효법%ZnO박막%정체결구%광치발광
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)旋涂法在Si(100)衬底上制备ZnO薄膜,利用X射线衍射(XRD)、光致发光谱(PL)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和发光特性.着重研究了ZnO薄膜发光特性,结果表明,ZnO薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰,与缺陷有关的可见发射带很弱.在低温下,PL谱主要有290nm、335nm、370 nm三个发射峰组成,且三峰随温度降低变化规律一致,可能来自自由教子声子伴线.
採用溶膠-凝膠(Sol-Gel)鏇塗法在Si(100)襯底上製備ZnO薄膜,利用X射線衍射(XRD)、光緻髮光譜(PL)等手段分析所得ZnO薄膜的晶體結構和髮光特性.著重研究瞭ZnO薄膜髮光特性,結果錶明,ZnO薄膜在室溫下均有較彊的紫外帶邊髮射峰,與缺陷有關的可見髮射帶很弱.在低溫下,PL譜主要有290nm、335nm、370 nm三箇髮射峰組成,且三峰隨溫度降低變化規律一緻,可能來自自由教子聲子伴線.
채용용효-응효(Sol-Gel)선도법재Si(100)츤저상제비ZnO박막,이용X사선연사(XRD)、광치발광보(PL)등수단분석소득ZnO박막적정체결구화발광특성.착중연구료ZnO박막발광특성,결과표명,ZnO박막재실온하균유교강적자외대변발사봉,여결함유관적가견발사대흔약.재저온하,PL보주요유290nm、335nm、370 nm삼개발사봉조성,차삼봉수온도강저변화규률일치,가능래자자유교자성자반선.
