光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2008年
7期
1415-1419
,共5页
孔伟金%云茂金%崔春玲%晋云霞%邵建达%范正修
孔偉金%雲茂金%崔春玲%晉雲霞%邵建達%範正脩
공위금%운무금%최춘령%진운하%소건체%범정수
光学薄膜%多层介质膜光栅%严格耦合波理论%衍射效率
光學薄膜%多層介質膜光柵%嚴格耦閤波理論%衍射效率
광학박막%다층개질막광책%엄격우합파이론%연사효솔
基于严格耦合波理论建立了梯形介质膜光栅的衍射机理模型,利用该模型讨论了底角为70°的梯形介质膜光栅-1级的衍射行为.通过对梯形介质膜光栅的占空比、槽深和剩余厚度的优化,设计了应用于1053 nm和51.2°角度入射的梯形介质膜光栅.对于顶层为HfO2的介质膜光栅,当槽深为200 nm,剩余厚度为100 nm,占空比为0.35时.其衍射效率优于99.5%,而对于顶层为SiO2的梯形光栅,为获得99.5%的衍射效率.其槽深为800 nm,剩余厚度为320 nm.而且,获得同样的衍射效率,顶层为HfO2的梯形光栅具有更宽的光谱特性.数值计算表明,严格耦合波理论模型对梯形介质膜光栅衍射效率的计算具有很好的收敛性和稳定性.
基于嚴格耦閤波理論建立瞭梯形介質膜光柵的衍射機理模型,利用該模型討論瞭底角為70°的梯形介質膜光柵-1級的衍射行為.通過對梯形介質膜光柵的佔空比、槽深和剩餘厚度的優化,設計瞭應用于1053 nm和51.2°角度入射的梯形介質膜光柵.對于頂層為HfO2的介質膜光柵,噹槽深為200 nm,剩餘厚度為100 nm,佔空比為0.35時.其衍射效率優于99.5%,而對于頂層為SiO2的梯形光柵,為穫得99.5%的衍射效率.其槽深為800 nm,剩餘厚度為320 nm.而且,穫得同樣的衍射效率,頂層為HfO2的梯形光柵具有更寬的光譜特性.數值計算錶明,嚴格耦閤波理論模型對梯形介質膜光柵衍射效率的計算具有很好的收斂性和穩定性.
기우엄격우합파이론건립료제형개질막광책적연사궤리모형,이용해모형토론료저각위70°적제형개질막광책-1급적연사행위.통과대제형개질막광책적점공비、조심화잉여후도적우화,설계료응용우1053 nm화51.2°각도입사적제형개질막광책.대우정층위HfO2적개질막광책,당조심위200 nm,잉여후도위100 nm,점공비위0.35시.기연사효솔우우99.5%,이대우정층위SiO2적제형광책,위획득99.5%적연사효솔.기조심위800 nm,잉여후도위320 nm.이차,획득동양적연사효솔,정층위HfO2적제형광책구유경관적광보특성.수치계산표명,엄격우합파이론모형대제형개질막광책연사효솔적계산구유흔호적수렴성화은정성.
