传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
2期
21-23
,共3页
气敏元件%影响%灵敏度%掺杂
氣敏元件%影響%靈敏度%摻雜
기민원건%영향%령민도%참잡
在WO3粉体材料中加入质量分数为4%的瓷粉和不同质量分数的金属氧化物(SnO2,SiO2,Al2O3),以恒温600℃烧结1h制成旁热式厚膜可燃性气敏元件.采用静态电压测量法,研究了元件的加热电压与元件灵敏度的关系.实验结果表明:WO3基元件掺人一定量的金属氧化物在加热功率为600mW时能提高元件的灵敏度.
在WO3粉體材料中加入質量分數為4%的瓷粉和不同質量分數的金屬氧化物(SnO2,SiO2,Al2O3),以恆溫600℃燒結1h製成徬熱式厚膜可燃性氣敏元件.採用靜態電壓測量法,研究瞭元件的加熱電壓與元件靈敏度的關繫.實驗結果錶明:WO3基元件摻人一定量的金屬氧化物在加熱功率為600mW時能提高元件的靈敏度.
재WO3분체재료중가입질량분수위4%적자분화불동질량분수적금속양화물(SnO2,SiO2,Al2O3),이항온600℃소결1h제성방열식후막가연성기민원건.채용정태전압측량법,연구료원건적가열전압여원건령민도적관계.실험결과표명:WO3기원건참인일정량적금속양화물재가열공솔위600mW시능제고원건적령민도.
