传感器世界
傳感器世界
전감기세계
SENSOR WORLD
2008年
3期
14-17,24
,共5页
白振华%潘国峰%孙以材%张效玮
白振華%潘國峰%孫以材%張效瑋
백진화%반국봉%손이재%장효위
SnO2薄膜%磁控溅射%气敏特性%灵敏度
SnO2薄膜%磁控濺射%氣敏特性%靈敏度
SnO2박막%자공천사%기민특성%령민도
用直流磁控溅射法分别在Si(111)基片及陶瓷基片上制备掺有Pt的SnO2薄膜,并进行500℃～700℃退火处理,对掺杂前后的薄膜进行XRD分析,测试各掺杂样品气敏特性.500℃退火后,掺杂样品对各种有机气体有较高的灵敏度,随着溅射时间的延长,气敏特性提高.700℃退火后,45min溅射的样品对氨气有很高的灵敏度和很好的选择性,最佳工作温度为220℃左右.随着掺杂时间延长,气敏特性降低.
用直流磁控濺射法分彆在Si(111)基片及陶瓷基片上製備摻有Pt的SnO2薄膜,併進行500℃～700℃退火處理,對摻雜前後的薄膜進行XRD分析,測試各摻雜樣品氣敏特性.500℃退火後,摻雜樣品對各種有機氣體有較高的靈敏度,隨著濺射時間的延長,氣敏特性提高.700℃退火後,45min濺射的樣品對氨氣有很高的靈敏度和很好的選擇性,最佳工作溫度為220℃左右.隨著摻雜時間延長,氣敏特性降低.
용직류자공천사법분별재Si(111)기편급도자기편상제비참유Pt적SnO2박막,병진행500℃～700℃퇴화처리,대참잡전후적박막진행XRD분석,측시각참잡양품기민특성.500℃퇴화후,참잡양품대각충유궤기체유교고적령민도,수착천사시간적연장,기민특성제고.700℃퇴화후,45min천사적양품대안기유흔고적령민도화흔호적선택성,최가공작온도위220℃좌우.수착참잡시간연장,기민특성강저.
