红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2008年
1期
106-110
,共5页
波前检测%五棱镜%大口径准直光束%干涉仪%质心算法
波前檢測%五稜鏡%大口徑準直光束%榦涉儀%質心算法
파전검측%오릉경%대구경준직광속%간섭의%질심산법
为保证干涉仪的测量精度需严格控制其准直光路中平行光束波前质量,以口径150 mm的扩束镜出射波面为测试对象在Zygo干涉仪上设计实验,采用五棱镜扫描法逐条测试扩束镜某一方向上出射波面法线的微小变化量,实现一种精度高而又经济的大口径波面测试.实验结果与Zygo的测试结果相吻合.证实了这种方法的可行性.同时分析了实验装置与环境对测试精度的影响.
為保證榦涉儀的測量精度需嚴格控製其準直光路中平行光束波前質量,以口徑150 mm的擴束鏡齣射波麵為測試對象在Zygo榦涉儀上設計實驗,採用五稜鏡掃描法逐條測試擴束鏡某一方嚮上齣射波麵法線的微小變化量,實現一種精度高而又經濟的大口徑波麵測試.實驗結果與Zygo的測試結果相吻閤.證實瞭這種方法的可行性.同時分析瞭實驗裝置與環境對測試精度的影響.
위보증간섭의적측량정도수엄격공제기준직광로중평행광속파전질량,이구경150 mm적확속경출사파면위측시대상재Zygo간섭의상설계실험,채용오릉경소묘법축조측시확속경모일방향상출사파면법선적미소변화량,실현일충정도고이우경제적대구경파면측시.실험결과여Zygo적측시결과상문합.증실료저충방법적가행성.동시분석료실험장치여배경대측시정도적영향.
