压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2007年
6期
740-742
,共3页
张萍%娄利飞%柴常春%杨银堂
張萍%婁利飛%柴常春%楊銀堂
장평%루리비%시상춘%양은당
牺牲层%多孔硅%双槽电化学腐蚀法
犧牲層%多孔硅%雙槽電化學腐蝕法
희생층%다공규%쌍조전화학부식법
论述了多孔硅的特点和制备方法,简单介绍双槽电化学腐蚀法的特点,并采用双槽电化学腐蚀法成功制备了多孔硅.多孔硅的扫描电镜(SEM)照片表明,孔径尺寸小,均匀性好,腐蚀结构规则.实验结果表明,衬底导电类型影响着多孔硅的制备条件.
論述瞭多孔硅的特點和製備方法,簡單介紹雙槽電化學腐蝕法的特點,併採用雙槽電化學腐蝕法成功製備瞭多孔硅.多孔硅的掃描電鏡(SEM)照片錶明,孔徑呎吋小,均勻性好,腐蝕結構規則.實驗結果錶明,襯底導電類型影響著多孔硅的製備條件.
논술료다공규적특점화제비방법,간단개소쌍조전화학부식법적특점,병채용쌍조전화학부식법성공제비료다공규.다공규적소묘전경(SEM)조편표명,공경척촌소,균균성호,부식결구규칙.실험결과표명,츤저도전류형영향착다공규적제비조건.
