微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
7期
207-209
,共3页
光纤%法珀%温度传感器
光纖%法珀%溫度傳感器
광섬%법박%온도전감기
设计制作了一种金属封装的光纤法珀温度传感器,该传感器采用不锈钢毛细金属管代替传统的空心光纤对光纤法珀腔进行封装,毛细金属管在作为法珀腔腔体的同时也是温度敏感元件.采用该结构简化了光纤法珀温度传感器的封装工艺,理论分析和实验的结果表明,该金属封装结构使得传感器的灵敏度易于控制,对于腔长为10 mm的温度传感器其精度达到±0.5℃.
設計製作瞭一種金屬封裝的光纖法珀溫度傳感器,該傳感器採用不鏽鋼毛細金屬管代替傳統的空心光纖對光纖法珀腔進行封裝,毛細金屬管在作為法珀腔腔體的同時也是溫度敏感元件.採用該結構簡化瞭光纖法珀溫度傳感器的封裝工藝,理論分析和實驗的結果錶明,該金屬封裝結構使得傳感器的靈敏度易于控製,對于腔長為10 mm的溫度傳感器其精度達到±0.5℃.
설계제작료일충금속봉장적광섬법박온도전감기,해전감기채용불수강모세금속관대체전통적공심광섬대광섬법박강진행봉장,모세금속관재작위법박강강체적동시야시온도민감원건.채용해결구간화료광섬법박온도전감기적봉장공예,이론분석화실험적결과표명,해금속봉장결구사득전감기적령민도역우공제,대우강장위10 mm적온도전감기기정도체도±0.5℃.