应用科技
應用科技
응용과기
YING YONG KE JI
2007年
1期
66-68,72
,共4页
常铁军%武秀芳%孙杰%孙艳
常鐵軍%武秀芳%孫傑%孫豔
상철군%무수방%손걸%손염
正交试验%玻璃基片磁控溅射%TiO2薄膜%光催化性能
正交試驗%玻璃基片磁控濺射%TiO2薄膜%光催化性能
정교시험%파리기편자공천사%TiO2박막%광최화성능
采用正交实验设计法优化了玻璃基片表面磁控溅射制备TiO2光催化活性薄膜的工艺条件,以罗丹明B的降解率作为薄膜光催化性的评价标准.结果表明:所考察的因素对薄膜光催化性能的影响次序是靶基距＞基片温度＞溅射气压＞溅射功率＞氧氩比和靶基距的交互作用＞氧氩比;所得优化条件为:功率155 W,靶基距85 mm,气压1.2 Pa,氧氩比1:10,基片温度550℃.
採用正交實驗設計法優化瞭玻璃基片錶麵磁控濺射製備TiO2光催化活性薄膜的工藝條件,以囉丹明B的降解率作為薄膜光催化性的評價標準.結果錶明:所攷察的因素對薄膜光催化性能的影響次序是靶基距＞基片溫度＞濺射氣壓＞濺射功率＞氧氬比和靶基距的交互作用＞氧氬比;所得優化條件為:功率155 W,靶基距85 mm,氣壓1.2 Pa,氧氬比1:10,基片溫度550℃.
채용정교실험설계법우화료파리기편표면자공천사제비TiO2광최화활성박막적공예조건,이라단명B적강해솔작위박막광최화성적평개표준.결과표명:소고찰적인소대박막광최화성능적영향차서시파기거＞기편온도＞천사기압＞천사공솔＞양아비화파기거적교호작용＞양아비;소득우화조건위:공솔155 W,파기거85 mm,기압1.2 Pa,양아비1:10,기편온도550℃.
