物理学报
物理學報
물이학보
2007年
1期
512-517
,共6页
余增强%吴克%马小柏%聂瑞娟%王福仁
餘增彊%吳剋%馬小柏%聶瑞娟%王福仁
여증강%오극%마소백%섭서연%왕복인
MgB2薄膜%外退火%超导成相%表面形貌
MgB2薄膜%外退火%超導成相%錶麵形貌
MgB2박막%외퇴화%초도성상%표면형모
报道了利用电子束蒸发的Mg/B多层膜作为前驱体,然后退火制备MgB2薄膜的工作.实验中发现,采用翻转膜面的退火处理方式可以有效地避免降温过程中Mg蒸气在薄膜表面形成的颗粒凝结,由此稳定地实现了面积为10 mm×10mm,均匀、平整的超导薄膜的制备,Tc达35 K,转变宽度为0.8 K,在5 μm×5 μm的区域内薄膜的平均粗糙度小于10 nm.为了便于后续器件制作过程中的微加工工艺,研究了膜厚小于1000 (A)时薄膜的成相规律,发现当样品厚度减薄后,Te会有明显降低.通过调整前驱薄膜中的不同分层厚度,仍可实现转变温度达30 K以上、厚度约600 (A)的MgB2薄膜,在20 K时的临界电流密度为2.4×106 A/cm2.
報道瞭利用電子束蒸髮的Mg/B多層膜作為前驅體,然後退火製備MgB2薄膜的工作.實驗中髮現,採用翻轉膜麵的退火處理方式可以有效地避免降溫過程中Mg蒸氣在薄膜錶麵形成的顆粒凝結,由此穩定地實現瞭麵積為10 mm×10mm,均勻、平整的超導薄膜的製備,Tc達35 K,轉變寬度為0.8 K,在5 μm×5 μm的區域內薄膜的平均粗糙度小于10 nm.為瞭便于後續器件製作過程中的微加工工藝,研究瞭膜厚小于1000 (A)時薄膜的成相規律,髮現噹樣品厚度減薄後,Te會有明顯降低.通過調整前驅薄膜中的不同分層厚度,仍可實現轉變溫度達30 K以上、厚度約600 (A)的MgB2薄膜,在20 K時的臨界電流密度為2.4×106 A/cm2.
보도료이용전자속증발적Mg/B다층막작위전구체,연후퇴화제비MgB2박막적공작.실험중발현,채용번전막면적퇴화처리방식가이유효지피면강온과정중Mg증기재박막표면형성적과립응결,유차은정지실현료면적위10 mm×10mm,균균、평정적초도박막적제비,Tc체35 K,전변관도위0.8 K,재5 μm×5 μm적구역내박막적평균조조도소우10 nm.위료편우후속기건제작과정중적미가공공예,연구료막후소우1000 (A)시박막적성상규률,발현당양품후도감박후,Te회유명현강저.통과조정전구박막중적불동분층후도,잉가실현전변온도체30 K이상、후도약600 (A)적MgB2박막,재20 K시적림계전류밀도위2.4×106 A/cm2.
