材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
z1期
82-84
,共3页
庞世红%王承遇%李西平%刘静维%唐艳玲
龐世紅%王承遇%李西平%劉靜維%唐豔玲
방세홍%왕승우%리서평%류정유%당염령
APCVD%TiO2%晶型转变%浮法玻璃
APCVD%TiO2%晶型轉變%浮法玻璃
APCVD%TiO2%정형전변%부법파리
利用APCVD方法在浮法玻璃表面沉积了TiO2薄膜,并用XRD和AFM分别研究了不同沉积温度下薄膜的晶型结构以及表面形貌.结果表明,随着沉积温度的升高,薄膜的晶型逐渐由无定形态转变为锐钛矿和金红石,薄膜的表面平均粗糙度逐渐变大.
利用APCVD方法在浮法玻璃錶麵沉積瞭TiO2薄膜,併用XRD和AFM分彆研究瞭不同沉積溫度下薄膜的晶型結構以及錶麵形貌.結果錶明,隨著沉積溫度的升高,薄膜的晶型逐漸由無定形態轉變為銳鈦礦和金紅石,薄膜的錶麵平均粗糙度逐漸變大.
이용APCVD방법재부법파리표면침적료TiO2박막,병용XRD화AFM분별연구료불동침적온도하박막적정형결구이급표면형모.결과표명,수착침적온도적승고,박막적정형축점유무정형태전변위예태광화금홍석,박막적표면평균조조도축점변대.
