摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2006年
2期
183-187
,共5页
周晖%温庆平%郝宏%谭立%王长胜%薛德胜
週暉%溫慶平%郝宏%譚立%王長勝%薛德勝
주휘%온경평%학굉%담립%왕장성%설덕성
非平衡磁控溅射%MoS2-Ti复合薄膜%结构%摩擦磨损性能
非平衡磁控濺射%MoS2-Ti複閤薄膜%結構%摩抆磨損性能
비평형자공천사%MoS2-Ti복합박막%결구%마찰마손성능
采用非平衡磁控溅射法制备出不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜并对其结构进行表征,采用显微硬度仪测量MoS2-Ti复合薄膜的显微硬度,在球-盘摩擦磨损试验机上评价其在大气中的摩擦磨损性能.结果表明:不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜呈岛状生长模式,断面呈致密细柱状,结晶状态均为无定形态;薄膜的显微硬度随Ti含量增加而升高;MoS2-Ti复合薄膜在大气中的摩擦磨损性能优于MoS2薄膜,掺杂适当Ti可以使MoS2-Ti复合薄膜的摩擦曲线波动减小,耐磨寿命提高,在本试验研究范围内,含30%Ti复合薄膜的耐磨寿命最长,当Ti掺杂量达到50%时MoS2-Ti复合薄膜失去润滑性能.
採用非平衡磁控濺射法製備齣不同Ti含量的MoS2-Ti複閤薄膜併對其結構進行錶徵,採用顯微硬度儀測量MoS2-Ti複閤薄膜的顯微硬度,在毬-盤摩抆磨損試驗機上評價其在大氣中的摩抆磨損性能.結果錶明:不同Ti含量的MoS2-Ti複閤薄膜呈島狀生長模式,斷麵呈緻密細柱狀,結晶狀態均為無定形態;薄膜的顯微硬度隨Ti含量增加而升高;MoS2-Ti複閤薄膜在大氣中的摩抆磨損性能優于MoS2薄膜,摻雜適噹Ti可以使MoS2-Ti複閤薄膜的摩抆麯線波動減小,耐磨壽命提高,在本試驗研究範圍內,含30%Ti複閤薄膜的耐磨壽命最長,噹Ti摻雜量達到50%時MoS2-Ti複閤薄膜失去潤滑性能.
채용비평형자공천사법제비출불동Ti함량적MoS2-Ti복합박막병대기결구진행표정,채용현미경도의측량MoS2-Ti복합박막적현미경도,재구-반마찰마손시험궤상평개기재대기중적마찰마손성능.결과표명:불동Ti함량적MoS2-Ti복합박막정도상생장모식,단면정치밀세주상,결정상태균위무정형태;박막적현미경도수Ti함량증가이승고;MoS2-Ti복합박막재대기중적마찰마손성능우우MoS2박막,참잡괄당Ti가이사MoS2-Ti복합박막적마찰곡선파동감소,내마수명제고,재본시험연구범위내,함30%Ti복합박막적내마수명최장,당Ti참잡량체도50%시MoS2-Ti복합박막실거윤활성능.
