材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
2期
21-25
,共5页
宋晓岚%杨海平%史训达%何希%邱冠周
宋曉嵐%楊海平%史訓達%何希%邱冠週
송효람%양해평%사훈체%하희%구관주
硅材料%电化学%电极反应%刻蚀%多孔硅
硅材料%電化學%電極反應%刻蝕%多孔硅
규재료%전화학%전겁반응%각식%다공규
硅材料是现代信息科技的主要载体,而其电化学研究则是正确认识和应用硅材料的前提和基础.从硅的表面和界面特性出发,综述了硅的电化学方面的研究进展,阐述了硅电极的阳极和阴极反应行为,总结了硅的刻蚀以及多孔硅的电化学形成机制和影响因素,并进一步展望了硅材料电化学研究的未来发展方向.
硅材料是現代信息科技的主要載體,而其電化學研究則是正確認識和應用硅材料的前提和基礎.從硅的錶麵和界麵特性齣髮,綜述瞭硅的電化學方麵的研究進展,闡述瞭硅電極的暘極和陰極反應行為,總結瞭硅的刻蝕以及多孔硅的電化學形成機製和影響因素,併進一步展望瞭硅材料電化學研究的未來髮展方嚮.
규재료시현대신식과기적주요재체,이기전화학연구칙시정학인식화응용규재료적전제화기출.종규적표면화계면특성출발,종술료규적전화학방면적연구진전,천술료규전겁적양겁화음겁반응행위,총결료규적각식이급다공규적전화학형성궤제화영향인소,병진일보전망료규재료전화학연구적미래발전방향.
