中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2006年
1期
16-20
,共5页
BCN膜%XPS%化学结构%荷电效应
BCN膜%XPS%化學結構%荷電效應
BCN막%XPS%화학결구%하전효응
采用X射线光电子谱(XPS)对BCN非晶纳米薄膜的结构进行表征.分别采用氩峰、污染碳和沉积单层金3种元素峰位来校正在XPS测试过程中由荷电效应引起的峰位移动,并与傅立叶红外光谱(FTIR)进行比较,讨论了这3种校正荷电效应的元素峰位选取对正确表征BCN膜结构的影响.分析结果表明:采用不同校正元素得到的BCN薄膜中元素的结合能差别很大,只有采用合适的元素校正荷电效应才能正确的表征薄膜结构;采用氩校正结合能得到的键结构拟合结果最接近薄膜的真实结构,该方法适用于溅射气氛中含Ar气的BCN膜,且对分析膜内结构同样有效;采用污染碳法和沉积单层金校正的结合能与真实值偏差较大.
採用X射線光電子譜(XPS)對BCN非晶納米薄膜的結構進行錶徵.分彆採用氬峰、汙染碳和沉積單層金3種元素峰位來校正在XPS測試過程中由荷電效應引起的峰位移動,併與傅立葉紅外光譜(FTIR)進行比較,討論瞭這3種校正荷電效應的元素峰位選取對正確錶徵BCN膜結構的影響.分析結果錶明:採用不同校正元素得到的BCN薄膜中元素的結閤能差彆很大,隻有採用閤適的元素校正荷電效應纔能正確的錶徵薄膜結構;採用氬校正結閤能得到的鍵結構擬閤結果最接近薄膜的真實結構,該方法適用于濺射氣氛中含Ar氣的BCN膜,且對分析膜內結構同樣有效;採用汙染碳法和沉積單層金校正的結閤能與真實值偏差較大.
채용X사선광전자보(XPS)대BCN비정납미박막적결구진행표정.분별채용아봉、오염탄화침적단층금3충원소봉위래교정재XPS측시과정중유하전효응인기적봉위이동,병여부립협홍외광보(FTIR)진행비교,토론료저3충교정하전효응적원소봉위선취대정학표정BCN막결구적영향.분석결과표명:채용불동교정원소득도적BCN박막중원소적결합능차별흔대,지유채용합괄적원소교정하전효응재능정학적표정박막결구;채용아교정결합능득도적건결구의합결과최접근박막적진실결구,해방법괄용우천사기분중함Ar기적BCN막,차대분석막내결구동양유효;채용오염탄법화침적단층금교정적결합능여진실치편차교대.
