功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2005年
10期
1545-1548
,共4页
氧化锌%掺杂%Li+%c-轴取向%电阻率
氧化鋅%摻雜%Li+%c-軸取嚮%電阻率
양화자%참잡%Li+%c-축취향%전조솔
ZnO薄膜的高阻特性在压电方面的应用极为重要.采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了c轴择优取向优良、电阻率高和化学计量比好的掺Li+(Li/Zn摩尔比分别为0、0.05、0.10、0.15、0.20)ZnO压电薄膜.研究了退火温度、掺杂浓度对ZnO薄膜晶体质量和电学特性的影响.XRD结果表明,ZnO薄膜的c轴择优取向度受退火温度和掺杂浓度的强烈影响;I-V测试表明,掺Li+后薄膜的电阻率显著提高,当Li+掺杂浓度为0.10(Li/Zn摩尔比)、退火温度为600℃时其电阻率达109Ω@cm;XPS分析结果表明,Li+掺杂对ZnO薄膜中O1s和ZnL3M45M45的结合能以及Zn/O比都有一定的影响,掺杂后化学计量比更好.
ZnO薄膜的高阻特性在壓電方麵的應用極為重要.採用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備瞭c軸擇優取嚮優良、電阻率高和化學計量比好的摻Li+(Li/Zn摩爾比分彆為0、0.05、0.10、0.15、0.20)ZnO壓電薄膜.研究瞭退火溫度、摻雜濃度對ZnO薄膜晶體質量和電學特性的影響.XRD結果錶明,ZnO薄膜的c軸擇優取嚮度受退火溫度和摻雜濃度的彊烈影響;I-V測試錶明,摻Li+後薄膜的電阻率顯著提高,噹Li+摻雜濃度為0.10(Li/Zn摩爾比)、退火溫度為600℃時其電阻率達109Ω@cm;XPS分析結果錶明,Li+摻雜對ZnO薄膜中O1s和ZnL3M45M45的結閤能以及Zn/O比都有一定的影響,摻雜後化學計量比更好.
ZnO박막적고조특성재압전방면적응용겁위중요.채용sol-gel법재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비료c축택우취향우량、전조솔고화화학계량비호적참Li+(Li/Zn마이비분별위0、0.05、0.10、0.15、0.20)ZnO압전박막.연구료퇴화온도、참잡농도대ZnO박막정체질량화전학특성적영향.XRD결과표명,ZnO박막적c축택우취향도수퇴화온도화참잡농도적강렬영향;I-V측시표명,참Li+후박막적전조솔현저제고,당Li+참잡농도위0.10(Li/Zn마이비)、퇴화온도위600℃시기전조솔체109Ω@cm;XPS분석결과표명,Li+참잡대ZnO박막중O1s화ZnL3M45M45적결합능이급Zn/O비도유일정적영향,참잡후화학계량비경호.
