电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2005年
9期
52-55
,共4页
C. Brubaker%M. Wimplinger%P. Lindner%P. Kettner%S. Pargfrieder%高仰月%葛劢冲
C. Brubaker%M. Wimplinger%P. Lindner%P. Kettner%S. Pargfrieder%高仰月%葛勱遲
C. Brubaker%M. Wimplinger%P. Lindner%P. Kettner%S. Pargfrieder%고앙월%갈매충
光致抗蚀剂%喷雾%涂胶%腔%覆盖%方形基片%空中桥梁
光緻抗蝕劑%噴霧%塗膠%腔%覆蓋%方形基片%空中橋樑
광치항식제%분무%도효%강%복개%방형기편%공중교량
介绍了喷雾式涂胶(Spray Coating)的多种新应用.在形貌起伏很大的表面均匀地涂布光刻胶(抗蚀剂)是一项非常有挑战性的工作,喷雾式涂胶正是为了满足这个挑战而开发的.实践证明,与传统的旋涂技术相比,喷雾式涂胶可以在保持光刻胶均匀性良好的同时显著地节约光刻胶的用量.已经发现此技术可用于非圆形基片和多件基片同时涂布.此外,此技术也可以为脆弱的结构提供保护性涂胶以及悬空结构的填充.
介紹瞭噴霧式塗膠(Spray Coating)的多種新應用.在形貌起伏很大的錶麵均勻地塗佈光刻膠(抗蝕劑)是一項非常有挑戰性的工作,噴霧式塗膠正是為瞭滿足這箇挑戰而開髮的.實踐證明,與傳統的鏇塗技術相比,噴霧式塗膠可以在保持光刻膠均勻性良好的同時顯著地節約光刻膠的用量.已經髮現此技術可用于非圓形基片和多件基片同時塗佈.此外,此技術也可以為脆弱的結構提供保護性塗膠以及懸空結構的填充.
개소료분무식도효(Spray Coating)적다충신응용.재형모기복흔대적표면균균지도포광각효(항식제)시일항비상유도전성적공작,분무식도효정시위료만족저개도전이개발적.실천증명,여전통적선도기술상비,분무식도효가이재보지광각효균균성량호적동시현저지절약광각효적용량.이경발현차기술가용우비원형기편화다건기편동시도포.차외,차기술야가이위취약적결구제공보호성도효이급현공결구적전충.
