厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2005年
6期
792-795
,共4页
沈德新%张峰%张春权%罗仲梓%陈志扬%周勇亮
瀋德新%張峰%張春權%囉仲梓%陳誌颺%週勇亮
침덕신%장봉%장춘권%라중재%진지양%주용량
芯片实验室%PDMS%键合%中真空%氧等离子体
芯片實驗室%PDMS%鍵閤%中真空%氧等離子體
심편실험실%PDMS%건합%중진공%양등리자체
键合是微流控芯片制作的关键技术之一.目前广泛应用的PDMS微流控芯片一般通过高真空(压力低于10 Pa)氧等离子体活化及键合进行制备,需要昂贵的分子泵等设备.通过工艺改进.使用装配普通油泵的等离子体去胶机,在中真空(27 Pa)成功进行聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面改性及键合.处理后的PDMS表面亲水性得到极大改善.贴合后可永久性密封,制作微流控芯片.使用扫描电镜,红外光谱及接触角测量仪进行了表征.与文献报道的高真空氧等离子体处理方法相比.效果基本一致,却大幅度降低了对设备系统的要求.并缩短了操作时间.
鍵閤是微流控芯片製作的關鍵技術之一.目前廣汎應用的PDMS微流控芯片一般通過高真空(壓力低于10 Pa)氧等離子體活化及鍵閤進行製備,需要昂貴的分子泵等設備.通過工藝改進.使用裝配普通油泵的等離子體去膠機,在中真空(27 Pa)成功進行聚二甲基硅氧烷(PDMS)錶麵改性及鍵閤.處理後的PDMS錶麵親水性得到極大改善.貼閤後可永久性密封,製作微流控芯片.使用掃描電鏡,紅外光譜及接觸角測量儀進行瞭錶徵.與文獻報道的高真空氧等離子體處理方法相比.效果基本一緻,卻大幅度降低瞭對設備繫統的要求.併縮短瞭操作時間.
건합시미류공심편제작적관건기술지일.목전엄범응용적PDMS미류공심편일반통과고진공(압력저우10 Pa)양등리자체활화급건합진행제비,수요앙귀적분자빙등설비.통과공예개진.사용장배보통유빙적등리자체거효궤,재중진공(27 Pa)성공진행취이갑기규양완(PDMS)표면개성급건합.처리후적PDMS표면친수성득도겁대개선.첩합후가영구성밀봉,제작미류공심편.사용소묘전경,홍외광보급접촉각측량의진행료표정.여문헌보도적고진공양등리자체처리방법상비.효과기본일치,각대폭도강저료대설비계통적요구.병축단료조작시간.
