集成电路应用
集成電路應用
집성전로응용
APPL ICATIONS OF IC
2005年
1期
67-68
,共2页
江轩%李勇军%闫琳%杨永刚%尚再艳
江軒%李勇軍%閆琳%楊永剛%尚再豔
강헌%리용군%염림%양영강%상재염
溅射靶材%半导体行业
濺射靶材%半導體行業
천사파재%반도체행업
在不同产业相对比较之下,半导体产业对于溅射靶材、蒸发源材料的要求是最高的,半导体领域应用靶材是世界靶材市场的主要组成之一.本文主要介绍了靶材的分类、半导体行业用靶材的种类及制备工艺以及未来半导体行业用靶材的发展趋势.
在不同產業相對比較之下,半導體產業對于濺射靶材、蒸髮源材料的要求是最高的,半導體領域應用靶材是世界靶材市場的主要組成之一.本文主要介紹瞭靶材的分類、半導體行業用靶材的種類及製備工藝以及未來半導體行業用靶材的髮展趨勢.
재불동산업상대비교지하,반도체산업대우천사파재、증발원재료적요구시최고적,반도체영역응용파재시세계파재시장적주요조성지일.본문주요개소료파재적분류、반도체행업용파재적충류급제비공예이급미래반도체행업용파재적발전추세.
