材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2004年
z2期
313-316
,共4页
林良武%周灵平%孙心瑗%艾永平
林良武%週靈平%孫心瑗%艾永平
림량무%주령평%손심원%애영평
Cu-W(Mo)薄膜 结构演变 离子辐照 退火
Cu-W(Mo)薄膜 結構縯變 離子輻照 退火
Cu-W(Mo)박막 결구연변 리자복조 퇴화
阐述了Cu-W(Mo)薄膜结构的演变与各种条件的关系,并分析了结构演变后薄膜的性能变化.结果表明,沉积条件、退火、离子束的轰击、辐照和薄膜成分比的变化都能引起薄膜的结构演变,其中离子束的轰击与辐熙是研究薄膜结构变化的主要手段.
闡述瞭Cu-W(Mo)薄膜結構的縯變與各種條件的關繫,併分析瞭結構縯變後薄膜的性能變化.結果錶明,沉積條件、退火、離子束的轟擊、輻照和薄膜成分比的變化都能引起薄膜的結構縯變,其中離子束的轟擊與輻熙是研究薄膜結構變化的主要手段.
천술료Cu-W(Mo)박막결구적연변여각충조건적관계,병분석료결구연변후박막적성능변화.결과표명,침적조건、퇴화、리자속적굉격、복조화박막성분비적변화도능인기박막적결구연변,기중리자속적굉격여복희시연구박막결구변화적주요수단.
