核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2003年
5期
341-345
,共5页
郑思孝%罗顺忠%廖小东%龙兴贵%彭述明%王培禄%刘仲阳%刘宁
鄭思孝%囉順忠%廖小東%龍興貴%彭述明%王培祿%劉仲暘%劉寧
정사효%라순충%료소동%룡흥귀%팽술명%왕배록%류중양%류저
Ca+、He+离子注入,纳米钛膜,微观结构
Ca+、He+離子註入,納米鈦膜,微觀結構
Ca+、He+리자주입,납미태막,미관결구
介绍了由弗里曼离子源在惰性气体辅助下产生Ca+、He+的研究及其分别注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析.Ca+ 注入Ti箔样品的XPX分析表明:在1×1018/cm2注入剂量下,Ca的含量达到33﹪,注入Ca在钛表面主要形成CaTiO3、CaO和TiO2的化学结合的方式与钛基体连接;He+注入纳米钛样品的XRD的衍射谱在15-40°范围内明显分裂及变得较为尖锐,由谢乐公式计算出的纳米膜样品在(100)(101)晶面晶粒粒度大小分别为20.2nm和19.3nm,表明纳米钛膜注氦后仍保持纳米尺度.而AFM在微米视场下观察到纳米钛膜的表层粒子粒度虽有所长大,但在纳米视场却观察到大量的亚结构,结合AFM观察和XRD的分析结果证明在高剂量注入下,存在纳米钛膜表层粒子同时又被碎化成微晶使注氦纳米钛晶粒仍保持纳米尺度的重要现象.
介紹瞭由弗裏曼離子源在惰性氣體輔助下產生Ca+、He+的研究及其分彆註入鈦箔和納米鈦膜的微結構分析.Ca+ 註入Ti箔樣品的XPX分析錶明:在1×1018/cm2註入劑量下,Ca的含量達到33﹪,註入Ca在鈦錶麵主要形成CaTiO3、CaO和TiO2的化學結閤的方式與鈦基體連接;He+註入納米鈦樣品的XRD的衍射譜在15-40°範圍內明顯分裂及變得較為尖銳,由謝樂公式計算齣的納米膜樣品在(100)(101)晶麵晶粒粒度大小分彆為20.2nm和19.3nm,錶明納米鈦膜註氦後仍保持納米呎度.而AFM在微米視場下觀察到納米鈦膜的錶層粒子粒度雖有所長大,但在納米視場卻觀察到大量的亞結構,結閤AFM觀察和XRD的分析結果證明在高劑量註入下,存在納米鈦膜錶層粒子同時又被碎化成微晶使註氦納米鈦晶粒仍保持納米呎度的重要現象.
개소료유불리만리자원재타성기체보조하산생Ca+、He+적연구급기분별주입태박화납미태막적미결구분석.Ca+ 주입Ti박양품적XPX분석표명:재1×1018/cm2주입제량하,Ca적함량체도33﹪,주입Ca재태표면주요형성CaTiO3、CaO화TiO2적화학결합적방식여태기체련접;He+주입납미태양품적XRD적연사보재15-40°범위내명현분렬급변득교위첨예,유사악공식계산출적납미막양품재(100)(101)정면정립립도대소분별위20.2nm화19.3nm,표명납미태막주양후잉보지납미척도.이AFM재미미시장하관찰도납미태막적표층입자립도수유소장대,단재납미시장각관찰도대량적아결구,결합AFM관찰화XRD적분석결과증명재고제량주입하,존재납미태막표층입자동시우피쇄화성미정사주양납미태정립잉보지납미척도적중요현상.
