真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2001年
5期
416-418
,共3页
黄士勇%曲凤钦%苗晔%钟玉荣%孟兆坤%傅胜奇
黃士勇%麯鳳欽%苗曄%鐘玉榮%孟兆坤%傅勝奇
황사용%곡봉흠%묘엽%종옥영%맹조곤%부성기
磁控溅射%水冷系统%旋转圆柱形磁控溅射器
磁控濺射%水冷繫統%鏇轉圓柱形磁控濺射器
자공천사%수랭계통%선전원주형자공천사기
在大型薄膜连续生产线中,磁控溅射器的溅射速率、使用周期是影响生产效率与成本的重要因素.本文提出一种新型的无马达驱动的具有高溅射速率、高靶材利用率、长的靶使用周期、安装与使用简单的磁控溅射器.可广泛应用于各类大、中型连续生产设备中.
在大型薄膜連續生產線中,磁控濺射器的濺射速率、使用週期是影響生產效率與成本的重要因素.本文提齣一種新型的無馬達驅動的具有高濺射速率、高靶材利用率、長的靶使用週期、安裝與使用簡單的磁控濺射器.可廣汎應用于各類大、中型連續生產設備中.
재대형박막련속생산선중,자공천사기적천사속솔、사용주기시영향생산효솔여성본적중요인소.본문제출일충신형적무마체구동적구유고천사속솔、고파재이용솔、장적파사용주기、안장여사용간단적자공천사기.가엄범응용우각류대、중형련속생산설비중.
