中山大学学报(自然科学版)
中山大學學報(自然科學版)
중산대학학보(자연과학판)
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS SUNYATSENI
2001年
3期
56-59
,共4页
溶胶-凝胶法%SnO-2薄膜材料%传感器
溶膠-凝膠法%SnO-2薄膜材料%傳感器
용효-응효법%SnO-2박막재료%전감기
以SnCl-2*2H-2O及乙醇为原料，利用溶胶－凝胶法制备SnO-2纳米薄膜.探讨了制膜的工艺条件，用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质，同时考察了薄膜的晶相结构、晶粒尺寸、表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与热处理条件之间的相互关系.
以SnCl-2*2H-2O及乙醇為原料，利用溶膠－凝膠法製備SnO-2納米薄膜.探討瞭製膜的工藝條件，用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究瞭所得薄膜的結構性質，同時攷察瞭薄膜的晶相結構、晶粒呎吋、錶麵形貌以及薄膜中元素的化學狀態與熱處理條件之間的相互關繫.
이SnCl-2*2H-2O급을순위원료，이용용효－응효법제비SnO-2납미박막.탐토료제막적공예조건，용XRD、SEM、TEM、AES이급XPS등연구료소득박막적결구성질，동시고찰료박막적정상결구、정립척촌、표면형모이급박막중원소적화학상태여열처리조건지간적상호관계.
The SnO-2 thin film was prepared by sol-gel method using tannous chloride and anhydrous ethanol.The preparing procedure was discussed.And the structure of SnO-2 thin film was characterized by XRD, SEM, TEM, AES and XPS. The crystal structure,the size of the particles and the electronic structure of the thin film were described.
