传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2003年
2期
11-13
,共3页
三氧化二铝%薄膜%多孔%湿度传感器
三氧化二鋁%薄膜%多孔%濕度傳感器
삼양화이려%박막%다공%습도전감기
在单晶Si片上热生长一层SiO2薄膜,再利用真空淀积的方法制备一层Al薄膜,然后通过铝阳极氧化的方法获得一层多孔Al2O3薄膜.利用JSM-35C扫描电子显微镜观测了该Al2O3薄膜的形貌.通过对Al2O3薄膜电阻与相对湿度关系的测试,发现其具有较好的感湿特性和较宽的感湿范围.
在單晶Si片上熱生長一層SiO2薄膜,再利用真空澱積的方法製備一層Al薄膜,然後通過鋁暘極氧化的方法穫得一層多孔Al2O3薄膜.利用JSM-35C掃描電子顯微鏡觀測瞭該Al2O3薄膜的形貌.通過對Al2O3薄膜電阻與相對濕度關繫的測試,髮現其具有較好的感濕特性和較寬的感濕範圍.
재단정Si편상열생장일층SiO2박막,재이용진공정적적방법제비일층Al박막,연후통과려양겁양화적방법획득일층다공Al2O3박막.이용JSM-35C소묘전자현미경관측료해Al2O3박막적형모.통과대Al2O3박막전조여상대습도관계적측시,발현기구유교호적감습특성화교관적감습범위.
