光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2003年
1期
5-7
,共3页
冯伯儒%张锦%宗德蓉%蒋世磊
馮伯儒%張錦%宗德蓉%蔣世磊
풍백유%장금%종덕용%장세뢰
相移掩模%双曝光技术%光纤光栅%干涉光刻
相移掩模%雙曝光技術%光纖光柵%榦涉光刻
상이엄모%쌍폭광기술%광섬광책%간섭광각
介绍将无铬相移掩模技术和双光束干涉曝光技术用于制作纳米级图形光纤光栅的基本原理和实验系统设计.提出一种用可移动反射镜使写入光束扫描固定在一起的相移掩模和光纤组合体制作光纤光栅的方法,既便于系统调整,增强曝光能量,又可方便制作高分辨力、长尺寸光纤光栅,无论是周期光栅,还是非周期光栅.
介紹將無鉻相移掩模技術和雙光束榦涉曝光技術用于製作納米級圖形光纖光柵的基本原理和實驗繫統設計.提齣一種用可移動反射鏡使寫入光束掃描固定在一起的相移掩模和光纖組閤體製作光纖光柵的方法,既便于繫統調整,增彊曝光能量,又可方便製作高分辨力、長呎吋光纖光柵,無論是週期光柵,還是非週期光柵.
개소장무락상이엄모기술화쌍광속간섭폭광기술용우제작납미급도형광섬광책적기본원리화실험계통설계.제출일충용가이동반사경사사입광속소묘고정재일기적상이엄모화광섬조합체제작광섬광책적방법,기편우계통조정,증강폭광능량,우가방편제작고분변력、장척촌광섬광책,무론시주기광책,환시비주기광책.
