云南天文台台刊
雲南天文檯檯刊
운남천문태태간
2002年
3期
101-116
,共16页
激光宇航动力学%纳米计量学%次纳米级激光测长%纳米定位%挠性移动台%扫描穿隧显微镜
激光宇航動力學%納米計量學%次納米級激光測長%納米定位%撓性移動檯%掃描穿隧顯微鏡
격광우항동역학%납미계량학%차납미급격광측장%납미정위%뇨성이동태%소묘천수현미경
为了满足ASTROD激光宇航动力学任务慨念计划的高精度要求,以及实现新质量标准,我们开始进行次纳米激光测长与纳米定位控制的研究.本文将回顾我们在清华大学与工研院测量中心的研究成果,介绍如何利用外差式激光干涉仪、挠性微动台与压电陶瓷,进行次纳米激光测长与纳米定位控制.此研究成果将做为ASTROD计划中,无拖曳航天技术的研发基础.之后讨论如何将纳米定位控制系统与扫描穿隧显微镜进行整合,完成计量型扫描穿隧显微镜,进一步将微结构的测量尺寸直接追溯至长度标准.
為瞭滿足ASTROD激光宇航動力學任務慨唸計劃的高精度要求,以及實現新質量標準,我們開始進行次納米激光測長與納米定位控製的研究.本文將迴顧我們在清華大學與工研院測量中心的研究成果,介紹如何利用外差式激光榦涉儀、撓性微動檯與壓電陶瓷,進行次納米激光測長與納米定位控製.此研究成果將做為ASTROD計劃中,無拖抴航天技術的研髮基礎.之後討論如何將納米定位控製繫統與掃描穿隧顯微鏡進行整閤,完成計量型掃描穿隧顯微鏡,進一步將微結構的測量呎吋直接追溯至長度標準.
위료만족ASTROD격광우항동역학임무개념계화적고정도요구,이급실현신질량표준,아문개시진행차납미격광측장여납미정위공제적연구.본문장회고아문재청화대학여공연원측량중심적연구성과,개소여하이용외차식격광간섭의、뇨성미동태여압전도자,진행차납미격광측장여납미정위공제.차연구성과장주위ASTROD계화중,무타예항천기술적연발기출.지후토론여하장납미정위공제계통여소묘천수현미경진행정합,완성계량형소묘천수현미경,진일보장미결구적측량척촌직접추소지장도표준.
